फैब फ्लोर पर, RTP के तापमान में होने वाले परिवर्तन केवल ग्राफ में ही दिखाई नहीं देते; बल्कि ये फोटोरेजिस्ट के सुखाने की प्रक्रिया में त्रुटियों के रूप में भी प्रकट होते हैं। जब लैंप का प्रदर्शन खराब होने लगता है, तो तापीय समानता नष्ट हो जाती है, और प्रक्रिया के लिए आवश्यक तापमान सीमाएँ संकुचित हो जाती हैं। हमने ऐसे विकल्पी लैंप बनाए हैं, ताकि लगातार होने वाले तापीय परिवर्तनों के बावजूद भी प्रक्रिया सही तरीके से चलती रहे।
क्या महत्वपूर्ण है?
हम हैलोजन तत्वों को ऐसी व्यवस्था में उपयोग में लाते हैं, जिससे ऊर्जा सीधे वेफर में पहुँच सके। क्वार्ट्ज आवरण अत्यंत शुद्ध होता है, इसलिए यह क्लास 1–100 के वातावरण में भी सही तरीके से काम करता है, बिना किसी त्रुटि के। 5,000 घंटों से अधिक समय तक भी लैंप का प्रदर्शन स्थिर रहता है; ऐसे में तापीय संतुलन बना रहता है, एवं महत्वपूर्ण आयामों पर नियंत्रण भी बना रहता है।
लिथोग्राफी एवं फोटोरेजिस्ट प्रक्रियाओं में इसका क्या महत्व है?
“सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं में तापमान को नियंत्रित रखना आवश्यक है, ताकि विलायकों का निष्कासन एवं फिल्मों पर लगने वाला दबाव नियंत्रित रह सके। हमारे लैंप, वेफर पर ±0.1°C की सटीकता के साथ तापमान नियंत्रित करते हैं; ऐसे में लाइनों की चौड़ाई स्थिर रहती है, दोष कम होते हैं, एवं उत्पादन दर भी बढ़ जाती है। स्थिर स्पेक्ट्रम के कारण तापमान नियंत्रण भी सटीक रहता है; ऐसे में हर बार एक ही परिणाम प्राप्त होता है। ऊर्जा की खपत भी ऑप्टिमाइज्ड होती है, एवं लंबे समय तक काम करने की क्षमता के कारण लैंप बदलने की आवश्यकता भी कम हो जाती है।
व्यावहारिक विवरण:
लैंप की स्थापना आसान है; लेकिन इसे RTP चैंबर की विशिष्ट ज्यामिति एवं मौजूदा लैंप सॉकेट के अनुरूप ही लगाना होता है। कनेक्टर के प्रकार, आर्क लंबाई आदि की जाँच आवश्यक है, एवं बदलाव के बाद तापीय प्रोफाइल का कैलिब्रेशन भी आवश्यक है। पहले 100 घंटों के उपयोग के बाद ही पुनः कैलिब्रेशन करना आवश्यक है, ताकि फोटोरेजिस्ट प्रक्रियाओं में स्थिरता बनी रहे।