फ़ैब फ्लोर पर, त्वरित थर्मल प्रोसेसिंग के दौरान एक तापमान विचलन ही लिथोग्राफी क्रिटिकल डायमेंशंस को प्रभावित करने और कई वेफ़र को स्क्रैप में भेजने के लिए पर्याप्त होता है। आपको ऐसी हीटिंग चाहिए जो तुरंत पहुँचती हो, स्थिर रहती हो, और चक्र-दर-चक्र दोहराई जा सके। हम ऐसे RTP लैंप सिस्टम बनाते हैं जो यह नियंत्रण प्रदान करते हैं बिना फ़ैब बजट को प्रभावित किए।
तकनीकी दृष्टिकोण से महत्वपूर्ण बातें
हम आपके RTP प्लेटफ़ॉर्म के लिए शॉर्ट-वेव हैलोजन या मीडियम-वेव लैंप विकल्प प्रदान करते हैं, जो तेज़ रैम्प रेट और स्थिर स्टेडी-स्टेट नियंत्रण के लिए ट्यून किए गए होते हैं। क्वार्ट्ज एन्क्लोज़र और रिफ्लेक्टर ज्यामिति को वेफ़र पर थर्मल प्रोफ़ाइल को आकार देने के लिए चुना जाता है। आप वेफ़र-स्तरीय एकरूपता ±0.1°C के भीतर और फोटोरेसिस्ट बेक की पुनरावृत्ति जो एक सटीक थर्मल बजट के अंदर रहती है, पर भरोसा कर सकते हैं।
यह सिस्टम क्लीनरूम कम्पैटिबल है, Class 1 से Class 100 तक, जिसमें कण उत्पादन कम होता है और कोई आउटगैसिंग नहीं होती जो फिल्म्स को दूषित कर सके। पावर डिलिवरी औजार के अनुरूप होती है, कनेक्टर और वोल्टेज विकल्प OEM स्पेसिफिकेशन के अनुसार होते हैं, इसलिए स्वैप प्रेडिक्टेबल होते हैं और कमीशनिंग तेज़ होती है।
जहाँ आप इसे उपयोग करते हैं वहाँ क्यों काम करता है
लिथोग्राफी ट्रैक्स और RTP सेल्स में, आप सॉफ्ट बेक, हार्ड बेक, और एनील स्टेप्स चलाते हैं जहाँ तापमान की सटीकता सीधे ओवरले, लाइन-विथ, और दोष प्रदर्शन को निर्धारित करती है। हमारे लैंप बेक विंडो को स्थिर करते हैं, दोबारा काम कम करते हैं, और चक्र समय को सघन रखते हैं। ऊर्जा उपयोग कुशल लैंप आउटपुट और सघन थर्मल कूप्लिंग से अनुकूलित होता है, जिससे प्रति वेफ़र लागत कम होती है।
रिलायबिलिटी 24/7 संचालन के लिए निर्मित है, फील्ड डेटा हजारों घंटे स्थिर आउटपुट और कम अनपेक्षित स्टॉप दिखाता है। कम लैंप परिवर्तन का अर्थ है कम डाउनटाइम और कम स्पेयर इन्वेंटरी में होना।
वाई वास्तविक विवरण
इंस्टॉलेशन के लिए सटीक ऑप्टिकल एलाइनमेंट और लैंप व रिफ्लेक्टर की साफ़-सफाई ज़रूरी है ताकि एकरूपता बनी रहे। लैंप कर्व को विशिष्ट RTP चैम्बर डिज़ाइन के साथ मिलाना अनिवार्य है; मेल न खाने पर प्रक्रिया क़िस्म के विचलन के रूप में दिखेगा।
हम कंपैटिबिलिटी मैपिंग और सेटअप सपोर्ट प्रदान करते हैं, लेकिन स्वैप से पहले आपको चैम्बर ज्यामिति, पावर इंटरफेस, और कूलिंग प्रतिबंधों की पुष्टि स्वयं करनी होगी। लैंप को एक कैलिब्रेटेड कन्ज़्यूमेबल की तरह संभालें: घंटे, आउटपुट, और तापमान ऑफ़सेट ट्रैक करें, और नियत समय पर बदलें ताकि यील्ड सुरक्षित रहे।