फैब फ्लोर पर, फोटोरेसिस्ट बेक में 0.5°C का ड्रिफ्ट भी पूरे बैच को खराब करने के लिए काफी है। आप Evatec इवैपोरेटर चला रहे हैं, और थर्मल बजट फिक्स्ड है। हीटिंग लैंप वह हिस्सा है जहां प्रोसेस इरादा असल में वेफर पर लागू होता है। अगर यह थोड़ा भी ऑफ हो, तो लिथोग्राफी ओवरले प्रभावित होता है और एज एक्सक्लूजन धीरे-धीरे बढ़ने लगता है।
जो वास्तव में मायने रखता है
Evatec इवैपोरेटर हीटिंग लैंप थिन-फिल्म डिपोजीशन और रेसिस्ट थर्मल प्रोफाइल के आधार पर बनाए गए हैं जिनकी आपको जरूरत होती है। हैलोजन या NIR एमिटर साफ, रेडिएंट हीट देता है जिसमें सख्त स्पेक्ट्रल कंट्रोल होता है, जिससे सेकंड से भी कम समय में थर्मल रिस्पांस मिलता है और स्थिर स्टेडी-स्टेट तापमान बना रहता है। वेफर पर तापीय समानता ±0.1°C के भीतर बनाए रखी जाती है, और यह संख्या सीधे रिपीटेबल क्रिटिकल डाइमेंशन और रेसिस्ट प्रोफाइल के रूप में दिखती है। क्वार्ट्ज एनवेलप और इंजीनियर किए गए फिक्स्चर क्लास 1–100 क्लीनरूम के लिए रेटेड हैं—शून्य पार्टिकल जनरेशन और कम आउटगैसिंग। आप 24/7 विश्वसनीयता, लंबी लैंप लाइफ, और स्थिर आउटपुट पर भरोसा कर सकते हैं; हमारे यूनिट 5,000+ घंटे चल रहे हैं जिसमें 5% से कम गिरावट आई है।
यह प्रोसेस के लिए क्यों अनुकूल है
Evatec इवैपोरेशन में, लैंप सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक के दौरान सब्सट्रेट तापमान का नियंत्रण है। यदि वह सटीकता मिलती है, तो फोटोरेसिस्ट रीवर्क कम होता है, एडहेजिन बेहतर होती है, और लाइन-विथ कंट्रोल सख्त होता है। इसका परिणाम लगातार थ्रूपुट, कम स्क्रैप, और रखरखाव के लिए व्यवस्थित समय मिलता है। ऊर्जा उपयोग नियंत्रण में रहता है क्योंकि सेटपॉइंट तक पहुंचने की रैम्प तेज होती है, और थर्मल इनर्शिया कम होती है, जिससे रेसिपी बदलाव जल्दी सेट हो जाते हैं बिना ओवरशूट के।
ध्यान देने योग्य बातें
लैंप को सही Evatec इवैपोरेटर मॉडल और निर्दिष्ट बेक मॉड्यूल से मैच करें। कनेक्टर, वोल्टेज, और कूलिंग पाथ की जांच करें; किसी भी मिसमैच से हॉट स्पॉट बनेंगे और लैंप जल्दी खराब हो जाएगा। पाइरोमीटर पाथ की सटीकता बनाए रखने के लिए समय-समय पर कैलिब्रेशन करें। यदि आप लगातार पीक पावर पर चलाते हैं तो लैंप की लाइफ कम होगी, इसलिए उस न्यूनतम सेटपॉइंट पर रहें जो अभी भी प्रोसेस स्पेक को पूरा करता हो।