Trong quy trình rửa sau khi làm sạch, chất lượng của toàn bộ quy trình phụ thuộc vào bước sấy khô tiếp theo. Nếu việc kiểm soát nhiệt độ không được thực hiện một cách chính xác, thì sẽ xuất hiện các vết nước, sự chênh lệch về áp suất bề mặt, và các tạp chất vi mô. Chúng tôi đã thiết kế mô-đun sấy khô này để loại bỏ những yếu tố gây biến động sau khi làm sạch, giúp cho bề mặt wafer luôn ở trạng thái khô và ổn định về mặt nhiệt độ.
Những yếu tố quan trọng trong thiết kế mô-đun này Mô-đun này kết hợp nguồn ánh sáng hồng ngoại tần số cao và trung bình trong một bộ đèn được chế tạo từ thủy tinh thạch anh, nhằm tạo ra hiệu ứng gia nhiệt nhanh chóng và chọn lọc trên bề mặt wafer. Chúng tôi đảm bảo rằng nhiệt độ trên bề mặt wafer luôn ở mức ±0,1°C, và tính đồng đều về nhiệt độ cũng được duy trì trong khoảng sai số tương tự. Mô-đun này hoạt động tốt trong môi trường phòng sạch cấp độ 1, với các vật liệu ít phát khí và dòng khí được kiểm soát chặt chẽ, nhằm ngăn chặn sự hình thành các hạt bụi trong quá trình hoạt động. Mật độ năng lượng được điều chỉnh sao cho có thể loại bỏ lớp nước trên bề mặt wafer một cách nhanh chóng, mà không làm ảnh hưởng đến nhiệt độ của lớp chất bảo vệ bề mặt wafer.
Tại sao mô-đun này lại phù hợp với quy trình sản xuất? Sau khi làm sạch, wafer cần phải được sấy khô hoàn toàn và không bị nhiễm bẩn trước khi tiến hành các bước xử lý tiếp theo. Mô-đun này có thể sấy khô wafer trong vài giây, nhờ đó giúp rút ngắn thời gian xử lý mà không gây áp lực nhiệt lên wafer. Các quy trình sấy khô vẫn duy trì được độ ổn định vì bề mặt wafer luôn ở trạng thái khô và ổn định về mặt nhiệt độ – không có nước ẩn nào có thể ảnh hưởng đến quá trình bay hơi của dung môi. Độ lặp lại của quy trình cũng được cải thiện, và thời gian ngưng máy do sự cố cũng giảm đi, vì mô-đun này được thiết kế để hoạt động liên tục 24/7, với độ ổn định cao trong hơn 5.000 giờ hoạt động.
Những lưu ý quan trọng mà bạn nên ghi nhớ Việc lắp đặt mô-đun này đòi hỏi phải có sự căn chỉnh chính xác với hệ thống thông gió trong phòng sạch, cùng với việc kiểm tra độ ổn định điện áp tại các đầu nối của đèn. Cường độ ánh sáng phát ra từ đèn phụ thuộc vào vị trí lắp đặt, vì vậy hãy thiết lập vị trí lắp đặt một cách chính xác, ghi chép lại và cố định nó. Đèn hoạt động tốt nhất khi độ ẩm trong phòng sạch nằm trong khoảng cho phép; nếu vượt quá giới hạn này, thời gian sấy khô sẽ bị ảnh hưởng. Hãy lên kế hoạch để kiểm calibra cường độ ánh sáng định kỳ, nhằm duy trì độ ổn định ở mức ±0,1°C, giúp quy trình sấy khô diễn ra đúng tiêu chuẩn.