Trên sàn sản xuất, sự sai lệch 0,5°C trong quá trình nung photoresist đủ để làm hỏng một lượng lớn sản phẩm. Bạn đang vận hành các máy bay hơi Evatec, và ngân sách nhiệt được thiết lập cố định. Đèn sưởi là nơi ý định quy trình thực sự tác động lên wafer. Nếu lệch dù chỉ một chút, lớp phủ lithography sẽ bị ảnh hưởng và vùng loại trừ mép bắt đầu lan rộng. Điều Quan Trọng Thực Sự Đèn sưởi của máy bay hơi Evatec được thiết kế dựa trên các hồ sơ nhiệt của lớp mỏng và photoresist mà bạn cần. Bộ phát halogen hoặc NIR phát nhiệt bức xạ sạch với kiểm soát quang phổ chặt chẽ, cho phản ứng nhiệt dưới một giây và nhiệt độ ổn định ở trạng thái cân bằng. Trên toàn bộ wafer, bạn duy trì đồng đều nhiệt trong phạm vi ±0,1°C, và con số này thể hiện trực tiếp sự lặp lại kích thước quan trọng và hồ sơ photoresist. Vỏ thạch anh và các bộ phận kỹ thuật đạt tiêu chuẩn phòng sạch Class 1–100—không sinh hạt bụi và thoát khí thấp. Bạn có thể tin cậy vào độ bền 24/7, tuổi thọ đèn dài và đầu ra ổn định; chúng tôi có các thiết bị chạy trên 5.000 giờ với mức suy giảm dưới 5%. Tại Sao Phù Hợp Với Quy Trình Trong quá trình bay hơi Evatec, đèn là núm điều chỉnh nhiệt độ nền trong giai đoạn soft bake và hard bake. Đạt được độ chính xác đó, bạn sẽ giảm thiểu việc làm lại photoresist, cải thiện độ bám dính và kiểm soát chặt chẽ chiều rộng đường mảnh. Kết quả là năng suất ổn định, giảm phế phẩm và các khoảng thời gian bảo trì có thể lên kế hoạch trước. Tiêu thụ năng lượng được giữ trong giới hạn vì tốc độ tăng nhiệt đến điểm đặt nhanh, và quán tính nhiệt thấp, giúp thay đổi công thức nhanh chóng ổn định mà không vượt quá nhiệt độ mục tiêu. Những Điều Cần Lưu Ý Phải chọn đèn phù hợp với đúng mẫu máy bay hơi Evatec và module nung được chỉ định. Kiểm tra kỹ đầu nối, điện áp và định vị đường làm mát; sự không tương ứng sẽ tạo điểm nóng và làm hỏng đèn sớm. Lên kế hoạch hiệu chuẩn định kỳ cho đường đo pyrometer để duy trì độ chính xác. Tuổi thọ đèn sẽ giảm nếu vận hành liên tục ở công suất cực đại, nên duy trì điểm đặt thấp nhất vẫn đảm bảo đáp ứng yêu cầu quy trình.