صفائی کے بعد، پورے عمل کی کامیابی اس بات پر منحصر ہے کہ خشک کرنے کا عمل کتنا مؤثر ہے۔ اگر درجہ حرارت کا کنٹرول مناسب نہ ہو، تو پانی کے نشانات، سطحی کشیدگی کے فرق، اور مائکرو آلودگیاں ظاہر ہو جاتی ہیں۔ ہم نے اپنے لیمپ ماڈیول کو ایسے ڈیزائن کیا ہے کہ صفائی کے بعد ویفر کی سطح مستحکم اور خشک رہے، تاکہ لیتھوگرافی کے عمل میں کوئی مشکل پیش نہ آئے۔
در حقیقت، کون سے عوامل اہم ہیں؟
یہ ماڈیول، شارٹ-ویو اور میڈیم-ویو انفراریڈ شعاعوں کو استعمال کرتا ہے؛ اور یہ شعاعیں کوارٹز سے بہتر بنائی گئی ہیں، تاکہ سطح کو تیزی سے اور منتخب طریقے سے گرم کیا جاسکے۔ ہم ویفر کی سطح کے درجہ حرارت کو ±0.1°C کے دائرے میں برقرار رکھتے ہیں، اور سطحی یکسانیت بھی اسی حد میں رہتی ہے۔ یہ ماڈیول کلاس 1 کے کلین روم میں بھی استعمال کیا جاسکتا ہے؛ اس میں کم مقدار میں گیسیں خارج ہوتی ہیں، اور ذرات کو کنٹрол کرنے والا سسٹم موجود ہے، جس سے مستقل آپریشن کے دوران ذرات کی پیداوار صفر رہتی ہے۔ پاور ڈینسٹی کو ایسے کیلبریٹ کیا گیا ہے کہ پانی کی تہہ جلدی ختم ہو جائے، بغیر فوٹوریزسٹ کے درجہ حرارت پر کوئی اثر پڑے۔
یہ ماڈیول کیوں مناسب ہے؟
صفائی کے بعد، فوٹوریزسٹ کے عمل سے پہلے ویفر کو خشک اور بے آلودہ ہونا ضروری ہے۔ یہ لیمپ چند سیکنڈوں میں ہی ویفر کو خشک کر دیتا ہے، لہذا عمل کا وقت کم ہو جاتا ہے، اور ویفر پر کوئی حرارتی دباؤ نہیں پڑتا۔ سافٹ بیک اور ہارڈ بیک کے عمل بھی مستحکم رہتے ہیں، کیوں کہ سطح ہمیشہ یکساں رہتی ہے؛ کوئی پوشیدہ پانی موجود نہیں ہے جو حل کے بخارات کے اخراج کو متاثر کرے۔ عمل کی تکراریت بہتر ہو جاتی ہے، اور غیر منصوبہ بند تعطل بھی کم ہو جاتا ہے، کیوں کہ یہ ماڈیول 24/7 کام کرنے کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے، اور 5,000 سے زیادہ گھنٹوں تک مستحکم کارکردگی فراہم کرتا ہے۔
آپ کو بعد میں فائدہ پہنچنے والی باتیں:
تنصیب کے دوران، پروسیس چیمبر کے ایگزاسٹ سسٹم سے درست سطح پر لیمپ کو نصب کرنا ضروری ہے، اور لیمپ کے ٹرمینلوں پر وولٹیج کی استحکام کی بھی تصدیق کرنی ضروری ہے۔ آؤٹ پٹ انٹینسٹی، لیمپ کی پوزیشن پر منحصر ہے؛ لہذا اسے ایک بار درست کرکے ریکارڈ کر لیں، اور اسے محفوظ رکھیں۔ لیمپ کی کارکردگی اس وقت بہترین ہوتی ہے، جب کلین روم کی نمی کو پروسیس کے مطابق رکھا جائے؛ اگر نمی کی سطح اس حد سے باہر ہو، تو خشک کرنے کا وقت بڑھ جاتا ہے۔ باقاعدگی سے آؤٹ پٹ انٹینسٹی کی کیلبریشن کرنا ضروری ہے، تاکہ ±0.1°C کی درستگی برقرار رہے، اور خشک کرنے کا عمل مطلوبہ معیار پر ہی ہو۔