لیتھوگرافی کے عمل میں، نرم بیکنگ کے دوران آدھے ڈگری کا فرق بھی کنٹرول شدہ فوٹو ریزسٹ کی موٹائی میں تبدیلی کا سبب بن سکتا ہے۔ ایلیپسومیٹری ویفر پروب ہیٹر کو اسی مقصد کے لئے تیار کیا گیا ہے تاکہ یہ فرق پیدا ہونے سے پہلے ہی اسے روک دے۔ اسے ویفر کو خشک کرنے، فوٹو ریزسٹ کو پہلے بیک کرنے، اور ایکسپوژر کے بعد بیک کرنے کے عمل کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے؛ جہاں درجہ حرارت کی یکسانیت ہی ڈیوائس کی ساخت کا تعین کرتی ہے۔
اس کی اہمیت کیا ہے؟
اس سسٹم میں شارٹ-ویو انفراریڈ ایمیٹر استعمال کیا گیا ہے، جو کوارٹز-اسٹیبلائزڈ تھرمل پاتھ کے ساتھ کام کرتا ہے، تاکہ ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر رکھا جاسکے۔ سیٹ پوائنٹ میں تبدیلی فوری طور پر پڑتی ہے، اور کوئی اضافی تغیر نہیں ہوتا۔ یہ سسٹم کلاس 1 کے کلین روموں میں بھی استعمال کیا جاسکتا ہے؛ کیوں کہ اس میں ایسے مواد اور سطحی سجاوٹ استعمال کی گئی ہے جن سے کوئی ذرہ پیدا نہیں ہوتا۔ 5,000 گھنٹوں سے زیادہ عرصے تک بھی اس کی کارکردگی 1% کے اندر ہی رہتی ہے، لہذا اسے 24/7 چلایا جاسکتا ہے، اور اس کی دیکھ بھال کے وقفے بھی منصوبہ بند کئے جاسکتے ہیں۔
پروڈکشن لائن پر اس کی اہمیت کیا ہے؟
روزمرہ کے استعمال میں، یہ درستگی فوٹو ریزسٹ کی دوبارہ تیاری کے عمل کو کم کرتی ہے، اور پورے سسٹم کے درجہ حرارت کو برقرار رکھتی ہے۔ نرم بیکنگ کے عمل میں درستگی سے موٹائی کا کنٹرول بہتر ہوتا ہے، جس سے آگے کے عملوں میں بہتر نتائج حاصل ہوتے ہیں۔ یہی درستگی سخت بیکنگ کے عمل میں بھی برقرار رہتی ہے، اور اس طرح تناؤ کی وجہ سے پیدا ہونے والی عدم یکسانیت سے بچا جاتا ہے۔ اس کے علاوہ، انرجی کی بچت بھی ہوتی ہے، کیوں کہ ایمیٹر صرف ہدف کو گرم کرتا ہے، نہ کہ چیمبر کی دیواروں کو۔ جب درجہ حرارت میں تغیرات ختم ہوجاتے ہیں، تو پروسیس کا ونڈو بھی وسیع ہوجاتا ہے۔
اسے کامیاب بنانے والی تفصیلات کیا ہیں؟
اس سسٹم کی تنصیب کے لئے پروب کی ساخت اور ویفر کی سطح کی اخراجی صلاحیت کو مطابقت دینا ضروری ہے؛ ڈائی الیکٹرک اسٹیکس اور بیک سائڈ میٹالائزیشن کی وجہ سے اثری سیٹ پوائنٹ میں چند ڈگری کا فرق پڑ سکتا ہے۔ انسٹالیشن کے وقت ہی اس کی منصوبہ بندی کرنی چاہیے، اور کنٹرولر کی PID ترتیبات کو بھی ویفر کی ساخت کے مطابق کرنا ضروری ہے۔ جب یہ سسٹم صحیح طریقے سے ترتیب دے دیا جاتا ہے، تو ہیٹر مستقل طور پر درستگی فراہم کرتا رہتا ہے۔