सफाई के बाद, वेफर को पूरी तरह सुखाने हेतु आवश्यक है कि उसकी सतह स्थिर एवं शुष्क रहे। यदि तापमान नियंत्रण ठीक से न हो, तो सतह पर पानी के निशान, सतही तनाव के अंतर, एवं सूक्ष्म संदूषण दिखाई देंगे। हमने ऐसा मॉड्यूल विकसित किया है, जिससे सफाई के बाद वेफर की सतह स्थिर एवं शुष्क रहे।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
इस मॉड्यूल में लघु-तरंगदैर्घ्य एवं मध्यम-तरंगदैर्घ्य वाले इन्फ्रारेड स्रोत हैं; ये क्वार्ट्ज-संवर्धित लैंपों में हैं, जिससे तेज एवं सतह-चयनात्मक तापन संभव होता है। वेफर के सतही तापमान को ±0.1°C की सीमा में बनाए रखा जाता है, एवं स्थानिक समानता भी इसी सीमा में ही रहती है। यह मॉड्यूल क्लास 1 के क्लीनरूमों में भी उपयोग के लिए उपयुक्त है; इसमें कम मात्रा में गैसें निकलती हैं, एवं कणों का नियंत्रण भी अच्छी तरह होता है। ऊर्जा घनत्व ऐसी ही है कि वेफर की सतह को जल्दी से सुखाया जा सके, बिना फोटोरेसिस्ट के तापमान पर कोई प्रभाव पड़े।
यह क्यों उपयुक्त है?
सफाई के बाद, फोटोरेसिस्ट लागू करने से पहले वेफर को शुष्क एवं संदूषण-रहित होना आवश्यक है। यह लैंप कुछ ही सेकंडों में वेफर को सुखा देता है; इससे प्रक्रिया में लगने वाला समय कम हो जाता है, एवं वेफर पर कोई तापीय दबाव नहीं पड़ता। चूँकि वेफर की सतह स्थिर रहती है, इसलिए “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाएँ भी स्थिर रहती हैं – कोई छिपा हुआ पानी नहीं होता, जिससे विलायकों का वाष्पीकरण प्रभावित हो। प्रक्रिया की पुनरावृत्ति सुधर जाती है, एवं अप्रत्याशित रूप से प्रक्रिया रुकने की संभावना भी कम हो जाती है… क्योंकि यह मॉड्यूल 24/7 चलने हेतु डिज़ाइन किया गया है, एवं 5,000+ घंटों तक भी स्थिर रूप से काम करता है।
ऐसी जानकारियाँ जो आपके लिए बाद में उपयोगी होंगी…
इस मॉड्यूल को इंस्टॉल करते समय प्रक्रिया-चेंबर के एक्जॉस्ट सिस्टम के साथ सटीक संरेखण आवश्यक है; साथ ही लैंप के टर्मिनलों पर वोल्टेज स्थिर रहना भी आवश्यक है। आउटपुट तीव्रता, लैंप की स्थिति पर निर्भर है… इसलिए इसे एक बार सेट करके दस्तावेज़ीकृत कर लें। जब क्लीनरूम में आर्द्रता सही स्तर पर रहती है, तब ही लैंप सबसे अच्छा प्रदर्शन करता है… यदि आर्द्रता इस सीमा से बाहर जाती है, तो सुखाने में समय बढ़ जाता है। नियमित रूप से आउटपुट तीव्रता को कैलिब्रेट करना आवश्यक है… ताकि ±0.1°C की सीमा में ही रहा जा सके, एवं सुखाने की प्रक्रिया सही तरीके से हो सके।