लिथोग्राफी प्रक्रिया में, फोटोरेजिस्ट को गर्म करना केवल एक “वॉर्म-अप” प्रक्रिया नहीं है; बल्कि यह तो महत्वपूर्ण आयामों के नियंत्रण हेतु आवश्यक है। यदि फोटोरेजिस्ट को कम तापमान पर गर्म किया जाए, तो उसके गुणधर्मों में 2°C का बदलाव हो जाता है, जिससे रेखाओं की स्थिति में भी नैनोमीटर स्तर पर परिवर्तन हो जाता है। हमने ऐसी समस्याओं को दूर करने हेतु डबल-ट्यूब इन्फ्रारेड लैंप विकसित किए हैं।
तकनीकी दृष्टि से, यह लैंप शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड किरणों का उपयोग करता है; इससे ऊर्जा सीधे फोटोरेजिस्ट में पहुँचती है, जिससे नीचे मौजूद फिल्में क्षतिग्रस्त नहीं होतीं। डबल-ट्यूब संरचना के कारण वेफर पर ऊर्जा का वितरण समान रहता है, जिससे सतह की एकरूपता ±0.1°C के भीतर रहती है। प्रतिक्रिया समय 2 सेकंड से भी कम है; इसलिए जब सेटपॉइंट में परिवर्तन किया जाता है, तो प्रोफ़ाइल तुरंत ही बदल जाता है। विभिन्न बैचों में गुणवत्ता में केवल कुछ सौवें डिग्री का ही अंतर रहता है।
क्वार्ट्ज आवरण एवं रिफ्लेक्टर संरचना के कारण कणों का निर्माण शून्य रहता है; इससे उत्पादन प्रक्रिया में क्लीनरूम क्लास 1–100 के नियमों का पालन होता है।
उत्पादन में इसके उपयोग से स्थिर आयाम प्राप्त होते हैं, पुनर्निर्माण की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं त्रुटियाँ भी कम हो जाती हैं। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि लैंप फोटोरेजिस्ट को ही गर्म करता है, न कि पूरे चेंबर को।
ऐसे लैंप 5,000 घंटों से अधिक समय तक काम कर सकते हैं, एवं उनके आउटपुट में 5% से भी कम बदलाव होता है। इससे रखरखाव की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं स्पेयर पार्ट्स की आवश्यकता भी कम हो जाती है।
कुछ व्यावहारिक सुझाव:
इस लैंप को इंस्टॉल करने हेतु विशेष, सुरक्षित विद्युत आपूर्ति आवश्यक है, एवं इसकी स्थापना सही तरीके से की जानी चाहिए। लैंप का प्रदर्शन, वेफर की सतह से रिफ्लेक्टर की दूरी पर निर्भर है। यह लैंप सीमित वोल्टेज सीमा में ही काम करता है, एवं थर्मल वातावरण को नियंत्रित रखना आवश्यक है।
लैंप को बदलने का कार्य, रखरखाव के समय ही किया जाना चाहिए, न कि किसी खराबी के बाद।