लिथोग्राफी प्रक्रिया में, “सॉफ्ट बेक” के दौरान आधे डिग्री का भी विचलन, नियंत्रित प्रकाश-प्रतिरोधक सामग्री की मोटाई में असमानता पैदा करने हेतु पर्याप्त है। ऐसी स्थिति से बचने हेतु ही एलिप्सोमेट्री वेफर प्रोब हीटर बनाया गया है। इसे वेफर को सुखाने, प्रकाश-प्रतिरोधक सामग्री को पहले गर्म करने, एवं एक्सपोजर के बाद उसे गर्म करने की प्रक्रियाओं हेतु डिज़ाइन किया गया है… क्योंकि तापमान की समानता ही उपकरणों की ज्यामिति को निर्धारित करती है।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
इस सिस्टम में शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटर का उपयोग किया गया है; इसके साथ ही क्वार्ट्ज-स्टेबिलाइज्ड थर्मल पाथ भी है, जिससे वेफर की सतह पर तापमान की समानता ±0.1°C के भीतर बनी रहती है। सेटपॉइंट में होने वाले परिवर्तन तुरंत ही लागू हो जाते हैं… बिना किसी ओवरशूट के। यह सिस्टम क्लास 1 के क्लीनरूमों में भी कार्य कर सकता है… क्योंकि इसमें ऐसी सामग्रियाँ एवं सतह-संस्कार उपयोग में आए हैं, जिससे कणों का निर्माण नहीं होता। 5,000+ घंटों तक भी आउटपुट 1% के भीतर ही स्थिर रहता है… इसलिए इसे 24/7 चलाया जा सकता है।
वास्तविक उपयोग में यह क्यों महत्वपूर्ण है?
रोजमर्रा के उपयोग में, ऐसी सटीकता से प्रकाश-प्रतिरोधक सामग्री को दोबारा प्रसंस्कृत करने की आवश्यकता ही नहीं पड़ती… एवं समग्र प्रक्रिया में तापमान संबंधी समस्याओं से भी बचा जा सकता है। “सॉफ्ट बेक” की प्रक्रिया से मोटाई नियंत्रण में सुधार होता है… जिससे ओवरले एवं क्रिटिकल डाइमेंशन नियंत्रण में भी सुधार होता है। यही स्थिर तापमान पैटर्न “हार्ड बेक” एवं क्यूरिंग प्रक्रियाओं में भी लागू होता है… जिससे तनाव-प्रेरित असमानताओं से बचा जा सकता है। इसके अलावा, ऊर्जा भी बचती है… क्योंकि एमिटर केवल लक्ष्य सामग्री को ही गर्म करता है… चेंबर की दीवारों को नहीं। जब तापमान संबंधी अस्थिरताएँ दूर हो जाती हैं, तो प्रक्रिया और भी आसान हो जाती है।
यह सिस्टम कैसे काम करता है?
इस सिस्टम को कार्यान्वित करने हेतु, प्रोब की ज्यामिति एवं वेफर की सतह की विकिरण-क्षमता को सही ढंग से मैच करना आवश्यक है… क्योंकि डाइइलेक्ट्रिक स्टैक एवं बैकसाइड मेटलाइजेशन के कारण प्रभावी सेटपॉइंट में कुछ डिग्री का बदलाव हो सकता है। माउंटिंग इंटरफेस की योजना पहले ही बना लेनी चाहिए… एवं कंट्रोलर के PID ट्यूनिंग को वेफर स्टैक के अनुरूप ही सेट करना आवश्यक है। एक बार यह सिस्टम सही ढंग से सेट हो जाने के बाद, हीटर लगातार सटीक परिणाम देता है।