Bộ làm nóng đầu dò cho phương pháp đo ellipsometry

Trong quá trình nung ấm, chỉ cần có sự dịch chuyển khoảng nửa độ thôi cũng đủ khiến độ dày của lớp phim quang học bị thay đổi. Do đó, thiết bị sưởi...