Giữ môi trường sạch: Tại sao chúng ta sử dụng thạch anh có độ tinh khiết cao để làm bộ phận gia nhiệt
Khi làm việc trong phòng sạch loại Class 100, việc gia nhiệt không chỉ đơn thuần là làm nóng vật thể. Đó còn là cuộc chiến không ngừng chống lại các hạt bụi.
Các bộ phận gia nhiệt thông thường gây ra nhiều vấn đề trong môi trường này. Chúng giải phóng ra các hạt bụi và các chất hữu cơ dễ bay hơi, những thứ có thể phá hủy các tấm wafer trong vài giây. Để tránh điều này, chúng ta sử dụng các bóng đèn hồng ngoại được đặt sau lớp vỏ bảo vệ làm từ thạch anh có độ tinh khiết cao.
Đó chính là lý do tại sao việc sử dụng thạch anh có độ tinh khiết cao lại quan trọng đến vậy. Hầu hết các loại thủy tinh đều chứa các tạp chất như bo hoặc natri. Ở nhiệt độ cao, những tạp chất này sẽ di chuyển, và điều này rất nguy hiểm khi chúng ta muốn giữ cho các tấm wafer luôn trong trạng thái sạch sẽ. Chúng ta sử dụng thạch anh vì nó có độ tinh khiết cực cao, nên không có gì có thể thoát ra ngoài được.
Ngoài ra, thạch anh còn có khả năng chịu được áp lực nhiệt rất tốt. Bạn có thể sử dụng các bóng đèn có công suất cao mà không cần lo lắng rằng lớp vỏ bảo vệ sẽ bị nứt vỡ dưới áp lực.
Nhưng vật liệu chỉ là một phần thôi. Yếu tố quan trọng nhất chính là bề mặt của thạch anh. Chúng ta phải mài nhẵn bề mặt thạch anh đến mức giống như gương. Tại sao vậy? Bởi vì những vết trầy xước nhỏ trên bề mặt chính là nơi mà bụi bẩn có thể tích tụ. Một bề mặt nhẵn bóng sẽ khiến các hạt bụi không có chỗ nào để ẩn náu. Khi các bóng đèn được lắp đặt vào, lớp vỏ bảo vệ sẽ đóng vai trò như một bức tường, ngăn không cho bụi bẩn xâm nhập vào môi trường làm việc.
Tuy nhiên, vẫn còn một vấn đề. Thạch anh có độ tinh khiết cao rất tốt trong việc cho phép ánh sáng hồng ngoại ngắn bước sóng đi qua, nhưng nó không phải là vật liệu cách nhiệt. Bạn sẽ nhận được nhiệt độ cao ở chính vị trí bạn muốn, nhưng phần vỏ bảo vệ của bóng đèn cũng sẽ bị nóng lên.
Bạn cần có cách để giảm nhiệt. Dù bạn sử dụng quạt hay hệ thống làm mát bằng nước, bạn vẫn cần có kế hoạch để xử lý nhiệt độ này. Nếu dòng khí quá yếu, bạn sẽ làm cháy đầu bóng đèn và các bộ phận kết nối khác.
Chúng tôi thiết kế những bộ phận này sao cho có thể thay thế một cách dễ dàng. Bởi trong một môi trường yêu cầu độ chính xác cao, chỉ cần một hạt bụi nhỏ thôi cũng có thể khiến quy trình sản xuất thất bại.