На цеху з літографії процес висушування фоторезисту не є просто етапом підготовки – це ключовий етап для контролю критичних розмірів. При м’якому висушуванні значення температури може змінитися на 2°C, а це призводить до зміщення ліній на кілька нанометрів. Ми створили двоканальну інфрачервону лампу, яка допомагає усунути таку невизначеність.
Важливо зазначити, що лампа працює на короткохвильовому інфрачервоному світлі, що дозволяє передавати енергію безпосередньо в фоторезист, не пошкоджуючи поверхню під ним. Двоканальна конструкція забезпечує однакове освітлення всієї поверхні пластини, що дає можливість досягти точності ±0,1°C. Час реакції становить менше 2 секунд, тож при зміні параметрів профіль відразу ж коригується. Повторюваність результатів залишається на рівні кількох сотих градуса від партії до партії.
Кварцова оболонка та геометрія відбивача запобігають утворенню частинок, тож умови роботи залишаються в межах стандартів чистої кімнати класу 1–100.
Чому це ефективно в промисловому виробництві: досягається стабільність критичних розмірів, менше необхідності в переробці продукції, а також менше відхилень. Профілі м’якого та жорсткого висушування залишаються стабільними, а кількість стохастичних дефектів зменшується. Енергоспоживання також знижується, оскільки лампа нагріває саме фоторезист, а не всю камеру.
Лампи працюють понад 5 000 годин без значних відхилень у продуктивності – менше 5%. Це означає менше необхідності у технічному обслуговуванні та можливість передбачуваного використання запасних частин.
Кілька практичних порад: для правильної установки потрібен окремий джерело живлення та точне вирівнювання лампи. Ефективність лампи залежить від відстані відбивача від поверхні пластини. Лампа працює в вузькому діапазоні напруги, а також необхідно контролювати температуру навколишнього середовища, щоб зберегти потрібні умови роботи.
Плануйте заміну лампи під час планового технічного обслуговування, а не після поломки.