На литографічному поверсі ви можете почути, як працює піч, поки лінія простоює. Коли профілі випікання фотоresist зміщуються, врожайність страждає — по одному градусу за раз. Що вам потрібно, так це джерело тепла, яке поважає тепловий бюджет пластини, а не камери.
Технічні аспекти Ми побудували лінійний інфрачервоний обігрівач на основі хвиль поблизу інфрачервоного спектра (NIR), щоб енергія йшла прямо у фотоresist і підкладку. Це забезпечує підсекундну реакцію, точний тепловий контроль і однорідність на рівні пластини в межах ±0,1°C по всій активній зоні випікання. Кожен випромінювач підтримує стабільні, повторювані значення протягом дня за днем, з відхиленням виходу менше 5% після 5000+ годин. Система спроектована відповідно до міжнародних стандартів обладнання для напівпровідників і забезпечує перевірену, еквівалентну продуктивність старим джерелам на основі галогенів і кварцу. Чому це працює в виробництві Цей випромінювач був розроблений з урахуванням реалій виробництва напівпровідників: сумісність з чистими приміщеннями класу 1–100, відсутність часток під час роботи та надійність 24/7 без непередбачених простоїв. На лінії етапи м’якого випікання та жорсткого випікання покращують контроль критичних розмірів, зменшують дефекти та скорочують відходи. Споживання енергії зменшується, оскільки профіль NIR нагріває ціль — а не навколишнє обладнання. Вікна процесу відкриваються, а час циклу зменшується. Практичні деталі Встановлення є простим на стандартних кріпленнях, але вирівнювання є критично важливим. Тримайте розрив і розподіл потоку в межах, щоб досягти однорідності ±0,1°C. Очікуйте короткий час розігріву перед тим, як випромінювач стабілізується на заданій точці — відповідно плануйте свої рецепти. Термін служби довгий, але регулярна калібрування все ще необхідна, щоб підтримувати тепловий профіль у межах специфікацій протягом усього терміну служби інструмента.