วิธีการทำให้แผ่นเวเฟอร์แห้งหลังจากทำความสะอาด

ในห้องผลิตที่มีมาตรฐานสูง วงจรรีเลย์ที่ออกมาจากกระบวนการทำความสะอาดนั้น จะไม่ถือว่าสะอาดจริงๆ เว้นแต่ว่าจะแห้งสนิท หากยังมีน้ำหรือคราบสกปรกเหลืออยู่...