ในห้องผลิตที่มีมาตรฐานสูง วงจรรีเลย์ที่ออกมาจากกระบวนการทำความสะอาดนั้น จะไม่ถือว่าสะอาดจริงๆ เว้นแต่ว่าจะแห้งสนิท หากยังมีน้ำหรือคราบสกปรกเหลืออยู่ ก็จะส่งผลให้เกิดปัญหาเกี่ยวกับการยึดเกาะของสารโฟโตรีซิสต์ และเกิดข้อบกพร่องในกระบวนการลิโทกราฟี ในกรณีที่ช่วงเวลาในการผลิตลดลงมาต่ำกว่า 2 นาโนเมตร กระบวนการทำให้วงจรรีเลย์แห้งด้วยวิธีปกติก็จะไม่เพียงพออีกต่อไป สาเหตุหลักคือปัญหาด้านความร้อน
สิ่งที่สำคัญจริงๆ ในแง่เทคนิค
เราใช้วิธีการให้พลังงานแบบเจาะจงแทนการให้ความร้อนแบบทั่วไป โดยใช้คลื่นความถี่ NIR ซึ่งมีความยาวคลื่นที่เหมาะสมกับจุดดูดซับน้ำ ไม่ใช่กับพื้นผิวของวงจรรีเลย์ วิธีนี้ช่วยให้ความร้อนกระจายตัวอย่างสม่ำเสมอทั่วพื้นผิวของวงจรรีเลย์ โดยมีความแตกต่างของอุณหภูมิเพียง ±0.1°C เท่านั้น
การระเหยของน้ำจะเกิดขึ้นอย่างสม่ำเสมอ โดยไม่ทำให้วงจรรีเลย์เกิดความเสียหาย หรือทำให้สารโฟโตรีซิสต์ระเหยออกมา อุปกรณ์นี้ออกแบบมาให้ใช้ได้ในห้องผลิตที่มีมาตรฐาน Class 1–100 และสามารถทำงานได้โดยไม่มีข้อบกพร่องใดๆ เลย
เหตุใดวิธีนี้จึงได้ผลในการผลิตจริง
คุณต้องมีกระบวนการที่สามารถทำซ้ำได้ในแต่ละช่วงเวลาการผลิต ระบบควบคุมความร้อนของเราจะช่วยให้อุณหภูมิของวงจรรีเลย์คงที่ตลอดกระบวนการทำความสะอาด ซึ่งช่วยให้การเคลือบสารโฟโตรีซิสต์ครั้งต่อไปมีคุณภาพดีขึ้น ความสม่ำเสมอนี้ช่วยลดความผันผวนในกระบวนการลิโทกราฟี และช่วยลดความจำเป็นในการแก้ไขข้อบกพร่อง ระบบนี้ได้รับการพิสูจน์แล้วว่าสามารถทำงานได้อย่างเชื่อถือตลอด 24/7 โดยไม่มีการหยุดทำงานโดยไม่คาดคิด ซึ่งช่วยให้คุณสามารถควบคุมต้นทุนด้านความร้อนได้ และรักษาอัตราการผลิตไว้ได้
สิ่งที่คุณต้องใส่ใจตั้งแต่เริ่มต้น
การนำอุปกรณ์นี้มาใช้ต้องมีการพิจารณาอย่างรอบคอบในส่วนของการเชื่อมต่อต่างๆ ห้องทำให้วงจรรีเลย์แห้งต้องมีระบบระบายอากาศที่เหมาะสมกับระบบการทำความสะอาดและการกำจัดสารเคมีที่มีอยู่ในห้องผลิต
อุปกรณ์นี้มีความทนทาน แต่ก็มีความไวต่อความหนาของชั้นน้ำบนพื้นผิวของวงจรรีเลย์ ดังนั้นกระบวนการทำความสะอาดจึงต้องมีความแม่นยำ คาดว่าจะต้องใช้เวลาสักระยะในการปรับแต่งระบบควบคุมความร้อนให้เหมาะสมกับสารเคมีที่ใช้ในการทำความสะอาดและเวลาในการทำงาน
ผลลัพธ์ที่ได้ก็คือ การป้องกันข้อบกพร่องในขั้นตอนการทำให้วงจรรีเลย์แห้ง จะช่วยให้วงจรรีเลย์ที่มีข้อบกพร่องน้อยลง หรือไม่ต้องทิ้งไปเลย