บนชั้นผลิต เพียงแค่การเบี่ยงเบนอุณหภูมิครั้งเดียวในระหว่างการทำความร้อนแบบรวดเร็ว (rapid thermal processing) ก็เพียงพอที่จะทำให้ขนาดที่สำคัญของลิโธกราฟีเปลี่ยนแปลง และส่งผลให้เวเฟอร์จำนวนมากต้องถูกทิ้ง คุณต้องการความร้อนที่เกิดขึ้นทันที คงที่ และทำซ้ำได้อย่างต่อเนื่อง เราพัฒนาระบบโคมไฟ RTP ที่ให้การควบคุมแบบนั้นโดยไม่เกินงบประมาณของโรงงาน
สิ่งที่สำคัญในเชิงเทคนิค
เราจับคู่แพลตฟอร์ม RTP ของคุณกับตัวเลือกโคมไฟฮาโลเจนช่วงคลื่นสั้นหรือช่วงคลื่นกลาง ซึ่งปรับแต่งมาเพื่ออัตราการเพิ่มอุณหภูมิที่รวดเร็วและควบคุมระดับอุณหภูมิคงที่อย่างเสถียร ซองควอตซ์และรูปทรงของรีเฟลกเตอร์ถูกเลือกเพื่อสร้างโปรไฟล์ความร้อนที่เหมาะสมทั่วทั้งเวเฟอร์ คุณสามารถวางใจในความสม่ำเสมอของอุณหภูมิที่ระดับเวเฟอร์ภายใน ±0.1°C และความสามารถทำซ้ำของการอบฟิล์มเรซินที่คงอยู่ภายในงบความร้อนที่เข้มงวด
ระบบรองรับการใช้งานในห้องสะอาดตั้งแต่ Class 1 ถึง Class 100 โดยมีการสร้างฝุ่นละอองต่ำและไม่มีการปลดปล่อยแก๊สที่จะเป็นสาเหตุของการปนเปื้อนฟิล์ม การจ่ายพลังงานถูกจับคู่กับเครื่องมือโดยตรง พร้อมตัวเชื่อมต่อและแรงดันไฟฟ้าตามสเปคของ OEM ทำให้การเปลี่ยนโคมไฟคาดการณ์ได้และการติดตั้งรวดเร็ว
เหตุผลที่ระบบทำงานได้ดีในสถานที่ใช้งานของคุณ
ในเส้นทางลิโธกราฟีและเซลล์ RTP คุณจะทำขั้นตอนอบฟิล์มแบบ soft bake, hard bake และ anneal ที่ความแม่นยำของอุณหภูมิมีผลโดยตรงต่อการซ้อนทับภาพ (overlay), ความกว้างเส้น และประสิทธิภาพข้อบกพร่อง โคมไฟของเราช่วยให้หน้าต่างการอบฟิล์มมีความเสถียร ลดการทำงานซ้ำ และรักษาเวลาซีเคิลให้สั้น การใช้พลังงานได้รับการปรับให้เหมาะสมด้วยประสิทธิภาพการออกโคมไฟและการเชื่อมต่อความร้อนที่แน่นหนา ซึ่งช่วยลดต้นทุนต่อเวเฟอร์
ความน่าเชื่อถือถูกออกแบบให้รองรับการทำงาน 24/7 โดยข้อมูลภาคสนามแสดงให้เห็นชั่วโมงการทำงานที่มีค่าคงที่นับพันชั่วโมงและลดจำนวนการหยุดทำงานโดยไม่คาดคิด การเปลี่ยนโคมไฟน้อยลงหมายถึงเวลาหยุดเครื่องน้อยลงและสต็อกอะไหล่น้อยลง
รายละเอียดที่ต้องปฏิบัติในทางปฏิบัติ
การติดตั้งต้องการการปรับแสงอย่างแม่นยำและการจัดการโคมไฟและรีเฟลกเตอร์อย่างสะอาด เพื่อรักษาความสม่ำเสมอในตำแหน่งที่ต้องการ การจับคู่โคมไฟกับลักษณะเรขาคณิตของห้อง RTP เป็นสิ่งที่ไม่สามารถละเลยได้ หากไม่ตรงกันจะทำให้เห็นการเปลี่ยนแปลงในลายเซ็นกระบวนการ
เราจัดหาการทำแผนที่ความเข้ากันได้และการสนับสนุนการติดตั้ง แต่คุณยังต้องยืนยันเรขาคณิตของห้อง ความเชื่อมต่อพลังงาน และข้อจำกัดการระบายความร้อนก่อนการเปลี่ยนโคมไฟ ให้ปฏิบัติต่อโคมไฟเหมือนวัสดุสิ้นเปลืองที่มีการสอบเทียบ ควบคุมชั่วโมงการใช้งาน, การออกโคมไฟ และค่าออฟเซ็ตอุณหภูมิ และเปลี่ยนตามตารางเวลาที่กำหนดเพื่อปกป้องผลผลิต