Sensor IR de precisão para wafers
Por que estamos passando para a cura por radiação infravermelha para chips sem chumbo
A tendência em direção à produção de semicondutores “verdes” e...
Aquecedor de bolachas com eficiência energética
Por que testamos cada aquecedor de wafer individualmente (e por que isso é importante para você)
No mundo do aquecimento de wafers, as margens de...
Distância de segurança para o aquecimento da wafer
Por que estamos passando para o uso de cura por radiação infravermelha nas folhas de silício Ultimamente, há uma grande tendência em direção ao uso...
Refletor para lâmpada de cura de bolachas
Impedindo que seu sistema de cura se transforme em um aquecedor gigante
O problema com as lâmpadas infravermelhas é o seguinte: sem um refletor, elas...
Sensor de temperatura para ferramentas de wafer
Mantendo tudo seguro ao usar aquecimento por infravermelho para a limpeza de wafers Sejamos honestos: colocar lâmpadas de infravermelho dentro de um...
Elemento de aquecimento por oxidação de wafer
Introdução Vamos direto ao ponto. Na oxidação de wafers semicondutores, o elemento de aquecimento não é apenas mais um componente entre tantos...
Custo da lâmpada aquecedora de wafer infravermelho
No setor de litografia, você sabe o quão rápido as coisas podem dar errado. Uma pequena variação na temperatura, mesmo que seja de meio grau, pode...
Lâmpada de secagem de wafers após a limpeza
Na prática, todo o processo de enxágue pós-limpeza só será eficaz se a etapa de secagem for bem realizada. Se o controle térmico não for adequado,...
Aquecedor para medição da tensão superficial de bolachas
Na litografia, uma variação de meio grau Celsius durante o processo de cura não é considerada um “erro pequeno”. Essa variação afeta o fluxo do...
Aquecedor de sonda de elipsometria para wafers
Na etapa de litografia, um desvio de meio grau durante o processo de aquecimento suave é suficiente para transformar um perfil controlado do...