진공 상태에서의 청결 유지 방법 클래스 100급 청정실이나 고진공 챔버에서 워크피스를 가열할 때, 단 한 점의 먼지나 아주 작은 양의 기체만으로도 전체 제품이 망가질 수 있다는 것을 잘 알고 계실 것입니다. 일반적인 IR 램프는 이러한 환경에 적합하지 않습니다. 대부...

웨이퍼가 가열될 때까지 기다리는 데 시간을 낭비하지 마세요. 여전히 반도체 처리에 공기 순환 방식을 사용한다면, 그건 마치 “시간 세금”을 내는 것과 같습니다. 강제적인 공기 순환 방식을 생각해보세요. 먼저 전체 챔버를 가열해야 하고, 그 다음에는 가스를 가열해야 합...