Smettete di perdere tempo ad aspettare che il wafer si riscaldi.
Se continuate a fare affidamento sulla circolazione dell’aria calda per la lavorazione dei semiconduttori, in pratica state pagando un “tributo di tempo”.
Pensate a come funziona il sistema a aria forzata: bisogna prima riscaldare l’intera camera, poi il gas presente al suo interno, e infine aspettare che il calore penetri nel wafer. È un processo lento e noioso.
Il riscaldamento a infrarossi a vuoto elimina questo problema: invece di aspettare che l’aria faccia il suo lavoro, i raggi infrarossi inviano direttamente radiazioni elettromagnetiche sul substrato.
È veloce… davvero molto veloce.
Poiché non c’è aria in condizioni di ostacolare il processo, possiamo utilizzare lampade a onde corte o medie per raggiungere rapidamente la temperatura desiderata. Mentre il sistema a aria calda impiega molto tempo per stabilizzarsi, il sistema a infrarossi raggiunge la temperatura desiderata in pochi secondi.
Questo cambia completamente le cose per quanto riguarda la velocità di produzione. Inoltre, non si spreca energia per riscaldare le pareti della camera: l’energia va esattamente dove è necessaria.
Tuttavia, non è così semplice come sostituire semplicemente una parte del sistema. Bisogna anche gestire l’“effetto ombra”: se la struttura che contiene la lampada ostacola il passaggio dei raggi infrarossi, alcune parti del wafer non riceveranno il calore necessario. Di solito risolviamo questo problema utilizzando più lampade o aggiungendo schermi rivestiti d’oro per riflettere l’energia verso il bersaglio.
Un avvertimento: queste lampade ad alta potenza diventano estremamente calde alle estremità. Se non si utilizzano sistemi di raffreddamento adeguati, i connettori possono bruciarsi. È un modo rapido per rovinare la vita utile della lampada.
In definitiva, si tratta di passare da un processo di produzione batch a uno a flusso continuo. Si tratta di sostituire un semplice sistema di soffio con qualcosa di molto più preciso. Se si vuole aumentare la produttività, riducere i tempi di ciclo è l’unica soluzione.