Smettete di preoccuparvi per la rottura delle lampade: un modo migliore per proteggere i vostri wafer
In una fabbrica di semiconduttori, la rottura di una Lampada rappresenta un vero disastro. Non si tratta soltanto di tempi di inattività: se un tubo di quarzo si frantuma sopra un wafer di silicio, si creano schegge di vetro e impurità chimiche ovunque. È davvero un disastro per la qualità dei prodotti ottenuti.
Abbiamo progettato delle lampade a infrarossi con rivestimento in oro per evitare che ciò accada, anche quando si lavora al massimo delle capacità produttive.
Perché il rivestimento in oro è così importante
La maggior parte delle lampade di quarzo emette calore in tutte le direzioni. È uno spreco. Noi risolviamo questo problema aggiungendo uno strato sottile di oro sul retro del tubo.
Si può pensare a questo rivestimento come a uno specchio: invece di far sfuggire il calore all’interno dell’unità, l’oro riflette quell’energia infrarossa direttamente sul wafer. In questo modo si ottiene una densità di calore molto maggiore proprio dove è necessaria.
Inoltre, l’oro riflette meglio gli infrarossi rispetto all’argento o all’alluminio. Ciò significa che si raggiungono più rapidamente le temperature desiderate. Semplice, no?
Come evitare che i tubi si rompano
I cicli di lavoro a carico elevato creano molta tensione sui tubi di quarzo. Quando la temperatura varia drasticamente, il quarzo può crepare.
Per contrastare questo problema, utilizziamo quarzo sintetico ad alta purezza. Questo materiale non si dilata o contrae quasi per niente rispetto ai materiali di scarsa qualità. Abbiamo anche dedicato molto tempo alla progettazione dei sigilli presenti agli elettrodi. La maggior parte delle lampade si rompe proprio in questi punti deboli. Noi abbiamo rafforzato questi punti affinché il tubo possa resistere alla pressione senza rompersi.
Qualche considerazione sui compromessi
Più potenza significa che ci sono più componenti che devono funzionare contemporaneamente, ma questo comporta anche una maggiore pressione sulla fonte di alimentazione e sul sistema di raffreddamento.
Se utilizzate queste lampade a pieno regime, dovete assicurarvi che il flusso d’aria sia adeguato. Se alle estremità della lampada non arriva abbastanza aria, il calore torna indietro nei connettori. Questo può causare un guasto prematuro della lampada.
Abbiamo progettato queste lampade in modo che possano essere sostituite facilmente nelle sale pulite. Sono progettate per resistere a cicli di lavoro 24/7, così da poter dormire tranquilli, sapendo che i vostri wafer sono al sicuro.