अपने वेफर के गर्म होने का इंतज़ार करके समय बर्बाद न करें।
यदि आप अभी भी सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण हेतु गर्म हवा का उपयोग कर रहे हैं, तो वास्तव में आप “समय-कर” चुका रहे हैं।
जानिए कि फोर्स्ड एयर सिस्टम कैसे काम करता है – पहले पूरे चेंबर को गर्म करना होता है, फिर गैस को गर्म करना होता है, और फिर उस गर्मी के वेफर में पहुँचने का इंतज़ार करना होता है। यह बहुत धीमी प्रक्रिया है।
वैक्यूम इन्फ्रारेड (IR) हीटिंग में ऐसी प्रक्रिया की कोई आवश्यकता ही नहीं है। IR विकिरण सीधे ही सब्सट्रेट तक पहुँच जाता है।
यह बहुत तेज़ है… वाकई बहुत तेज़।
चूँकि वैक्यूम में कोई हवा ही नहीं होती, इसलिए हम शॉर्ट-वेव/मीडियम-वेव IR लैंपों का उपयोग करते हैं। जबकि हॉट-एयर सिस्टम में चीजें धीरे-धीरे ही गर्म होती हैं, IR सिस्टम में तो लक्षित तापमान पर पहुँचने में कुछ ही सेकंड लगते हैं।
इससे आपकी उत्पादन क्षमता में बढ़ोतरी होती है। साथ ही, आपको चेंबर की दीवारों को गर्म करने हेतु बिजली भी बर्बाद नहीं करनी पड़ती। ऊर्जा सीधे ही वहाँ पहुँच जाती है, जहाँ उसकी आवश्यकता है।
लेकिन ध्यान रखें – यह इतना आसान भी नहीं है। “शैडो इफेक्ट” की समस्या भी है… यदि लैंप का हुड रास्ते में हो, तो वेफर के कुछ हिस्से उचित गर्मी नहीं प्राप्त कर पाते। इस समस्या को दूर करने हेतु हम मल्टी-लैंप सिस्टम या सोने से ढके शील्डों का उपयोग करते हैं।
एक और बात – ऐसे उच्च-वॉटेज लैंपों के अंतिम हिस्से बहुत गर्म हो जाते हैं। यदि आप कूलिंग सिस्टम पर ध्यान न दें, तो आपके कनेक्टर नष्ट हो जाएंगे। यह लैंपों के जीवनकाल को कम करने का एक तेज़ तरीका है।
अंत में, यह धीमी गति से होने वाली प्रक्रियाओं को तेज़ गति से होने वाली प्रक्रियाओं में बदलने की बात है। आपको साधारण ब्लोअरों के बजाय अधिक सटीक उपकरणों का उपयोग करना होगा। यदि आप अपने उत्पादन को बढ़ाना चाहते हैं, तो इन प्रक्रियाओं को तेज़ करना ही एकमात्र तरीका है।