Capteur IR de précision pour wafer
Pourquoi nous passons à la cuisson par rayonnement infrarouge pour les puces sans plomb
L’effort visant à créer des usines de fabrication de...
Chauffeur de wafer à faible consommation d énergie
Pourquoi testons-nous chaque élément chauffant individuellement ? Et pourquoi est-ce important pour vous ? Dans le domaine du chauffage des wafers,...
Distance de sécurité pour le chauffage de la wafer
Pourquoi nous passons au séchage par rayonnement infrarouge pour les wafers
Récemment, on observe une véritable tendance à utiliser le séchage par...
Réflecteur pour lampe de séchage de wafer
Arrêtez votre système de séchage de devenir un énorme radiateur spatial
Voici le problème avec les lampes infrarouges : sans réflecteur, elles...
Capteur de température pour outil de wafer
Comment protéger les équipements lors de l’utilisation du chauffage infrarouge pour le nettoyage des wafer
Soyons honnêtes : placer des lampes...
Élément chauffant par oxydation de la feuille de silicium
Introduction Passons aux faits. Dans le processus d’oxydation des plaques de semi-conducteurs, l’élement de chauffage n’est pas simplement un...
Coût de la lampe chauffe pièce à infrarouges
Dans un environnement de lithographie, on sait à quel point les choses peuvent mal tourner rapidement. Un léger écart de température, même de...
Lampe de séchage de wafer après nettoyage
En réalité, toute étape de rinçage post-nettoyage n’est efficace que si l’étape de séchage qui suit est bien maîtrisée. Si le contrôle thermique est...
Chauffage pour mesure de la tension superficielle des wafer
En lithographie, une déviation de demi-degré Celsius pendant le processus de cuisson n’est pas une « petite erreur ». Elle affecte le flux du...
Chauffage de sonde de wafer par ellipsométrie
Sur le plan de la lithographie, un décalage de demi-degré pendant le séchage doux suffit pour transformer un profil de résist photocontrôlé en une...
Comment sécher la wafer après nettoyage
Dans les usines de fabrication, une wafer qui sort de l’étape de nettoyage n’est vraiment propre que lorsqu’elle est complètement sèche. Toute trace...