Comment protéger les équipements lors de l’utilisation du chauffage infrarouge pour le nettoyage des wafer
Soyons honnêtes : placer des lampes infrarouges à l’intérieur d’un appareil contenant des produits chimiques inflammables ou explosifs est une situation très dangereuse. Un simple éclat de étincelle ou une petite fissure dans la coque de la lampe peut entraîner des catastrophes.
Pour y remédier, nous créons en fait une sorte de « forteresse » autour des composants électriques. Nous utilisons des matériaux spécialisés pour garantir que les produits chimiques et l’électricité ne puissent jamais entrer en contact.
Le secret réside dans le scellement
Nous ne nous contentons pas de recouvrir la lampe ; c’est un processus en plusieurs étapes. D’abord, la lampe est placée dans un enveloppement en quartz de haute pureté. Ensuite, tout est scellé avec des joints résistants aux produits chimiques et des résines époxyes spécifiques, là où les fils électriques se connectent. Cela empêche les composés organiques volatils de pénétrer dans les connexions électriques. Nous utilisons uniquement des matériaux capables de résister à des solvants agressifs sans se dégrader ou libérer des gaz dangereux. Il s’agit simplement de garantir la sécurité.
Comment éviter les étincelles
Dans un environnement explosif, la chaleur est un problème, mais le vrai danger vient des étincelles. Une seule étincelle suffit pour provoquer une explosion. C’est pourquoi nous sommes extrêmement prudents quant au câblage. Nous veillons à ce que les parties métalliques en contact avec l’électricité ne soient pas exposées à l’air. L’enveloppement protège complètement les fils électriques et les points de soudure. S’il n’y a pas d’électricité exposée, il n’y a pas d’étincelles. C’est aussi simple que ça.
Les compromis à accepter
Il y a cependant un compromis à accepter : lorsque l’on ajoute une couche de protection entre le filament et le wafer, on perd un peu de chaleur produite par la lampe. On remarquera donc une légère diminution du flux de chaleur par rapport à une lampe placée à l’air libre. Mais ce n’est pas un problème majeur. Il suffit de ajuster les paramètres de puissance ou de laisser le wafer reposer quelques secondes de plus pour atteindre la température souhaitée.
Fiabilité dans des conditions réelles
Ces lampes sont conçues pour résister à de nombreux défis. Nous avons vu des lampes survivre à des éclaboussures de produits chimiques qui auraient endommagé une lampe ordinaire en quelques secondes. Nous soumettons chaque lampe à des tests de fuite, car nous savons à quel point les cycles thermiques peuvent être brutaux dans les équipements de semi-conducteurs. Si le scellement échoue, la lampe s’use rapidement. C’est pourquoi nous accordons beaucoup plus d’importance à l’intégrité du scellement qu’à la puissance brute de la lampe. Il vaut mieux avoir une lampe qui fonctionne de manière fiable, plutôt qu’une lampe qui produit plus de chaleur mais qui est dangereuse.