دیگر وقت خود را صرف انتظار گرم شدن ویفر نکنید!
اگر هنوز از سیستمهای گرمایش با هوای داغ برای فرآوری نیمههادیها استفاده میکنید، در واقع در حال پرداخت «مالیات زمان» هستید.
فرآیند گرمایش با هوای داغ بسیار آهسته است؛ ابتدا باید کل محفظه را گرم کرد، سپس گاز را گرم کرد، و در نهایت منتظر ماند تا گرما به ویفر منتقل شود. این روش بسیار کند و طاقتفرساست.
اما روش گرمایش با مایکروویو، این واسطهها را حذف میکند؛ به جای انتظار برای گرم شدن هوا، مایکروویو تابش الکتromغناطیسی را مستقیماً به سمت سطح مورد نظر ارسال میکند.
این روش بسیار سریع است.
از آنجایی که در حالت خلأ هیچ هوایی وجود ندارد که مانع گرم شدن سطح مورد نظر شود، از لامپهای مایکروویو با طول موج کوتاه یا متوسط برای گرم کردن سطح مورد نظر استفاده میشود. در حالی که سیستمهای گرمایش با هوای داغ همچنان به آهستگی کار میکنند، سیستم مایکروویو در عرض چند ثانیه به دمای مورد نظر میرسد.
این موضوع تأثیر زیادی بر سرعت فرآوری دارد؛ علاوه بر این، دیگر نیازی نیست انرژی زیادی صرف گرم کردن دیوارههای محفظه شود؛ انرژی دقیقاً به جایی که لازم است، ارسال میشود.
اما توجه داشته باشید که این کار آنقدر ساده نیست؛ باید با «اثر سایه» نیز کنار بیایید. اگر محفظه لامپ مانع گرم شدن برخی از قسمتهای ویفر شود، باید از سیستمهای چندلامپی یا سپرهای طلاکوب شده برای بازتاب انرژی به سمت سطح مورد نظر استفاده کرد.
همچنین، لامپهای با توان بالا در انتهای خود بسیار داغ میشوند؛ اگر سیستمهای خنککننده مناسبی نداشته باشید، اتصالات لامپ خراب خواهند شد. این روش، راه سریعی برای از بین رفتن عمر لامپ است.
در نهایت، هدف این است که از فرآوری به صورت دستهای به فرآوری به صورت پیوسته روی آوریم؛ یعنی جایگزین کردن سیستمهای ساده با سیستمهای دقیقتر. اگر میخواهید تولید خود را افزایش دهید، کاهش زمان فرآوری تنها راه ممکن است.