در فرآیند لیتوگرافی، حرارت دادن فوتورزیست، صرفاً یک روش گرم کردن ساده نیست؛ بلکه این فرآیند، راهکاری برای کنترل دقیق ابعاد مهم در تولید است. در صورت استفاده از روش حرارت دادن ملایم، انحرافات دمایی ۲ درجه سانتیگراد خواهد بود؛ در حالی که این انحرافات در روش حرارت دادن شدید، تنها در محدوده نانومتر خواهد بود. ما لامپهای مادونقرمز دو لولهای را طراحی کردهایم تا این نوسانات را از بین ببریم.
از نظر فنی، نکات مهم عبارتند از: این لامپها با استفاده از امواج مادونقرمز کوتاه، انرژی را مستقیماً به فوتورزیست منتقل میکنند؛ بدون اینکه فیلمهای زیرین آن را آسیب بزنند. لولههای دوگانه، توزیع انرژی روی سطح ویفر را تنظیم میکنند؛ در نتیجه، یکنواختی سطحی در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حاصل میشود. زمان پاسخگویی لامپ کمتر از ۲ ثانیه است؛ بنابراین هنگام تغییر مقدار تنظیمات، پروفایل مربوطه بلافاصله تغییر میکند. تکرارپذیری عملکرد لامپ نیز در محدوده چند صدم درجه است.
پوشش کوارتزی و ساختار بازتابنده، ایجاد ذرات ناخواسته را به صفر میرساند؛ بنابراین، شرایط محیطی در سطح کلاس ۱ تا ۱۰۰ حفظ میشود.
دلایل موفقیت این لامپها در تولید عبارتند از: داشتن ابعاد مهم پایدار، کاهش تعداد بازسازیها، و کاهش نوسانات. پروفایلهای حرارتی ناشی از روشهای حرارت دادن ملایم و شدید، یکنواخت باقی میمانند؛ همچنین، نقصهای تصادفی نیز کاهش مییابند. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا لامپ فقط فوتورزیست را گرم میکند، نه کل محفظه.
این لامپها بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت کار کردهاند، و انحرافات عملکردی آنها کمتر از ۵٪ بوده است. این امر به معنای کاهش تعداد توقفهای نگهداری پیشگیرانه و نیاز کمتر به قطعات یدکی است.
چند نکته عملی: برای نصب این لامپها، نیاز به منبع تغذیه جداگانه و محافظتشده، همچنین تنظیمات دقیق برای نصب آنها وجود دارد. عملکرد لامپ به فاصله بازتابنده از سطح ویفر بستگی دارد. این لامپها در یک محدوده ولتاژ مشخص کار میکنند؛ همچنین، باید سیستم خنککننده محیطی نیز کنترل شود تا دمای محیط در حد مطلوب باقی بماند.
تغییر لامپها را باید در زمانهای مشخص برای نگهداری انجام داد؛ نه پس از بروز خرابی.