در فرآیندهای لیتوگرافی، تغییرات دمایی در دستگاههای RTP نه تنها در نمودارها مشخص میشوند، بلکه باعث ایجاد خطاهایی در فرآیند پخت نقشههای فوتورزیست نیز میشوند. وقتی که عملکرد لامپها ضعیف میشود، یکنواختی حرارتی کاهش مییابد و باعث میشود بازه فرآیندی کاری شما به سرعت کوچک شود. ما این لامپهای جایگزین را طوری طراحی کردهایم که چرخههای حرارتی سریع در حد مشخصات مورد نظر انجام شوند، بدون ایجاد مشکلات.
چه چیزی مهم است؟
ما از عناصر هالوژنی با ساختار مناسب و تولید تابش در طول موجهای کوتاه استفاده میکنیم؛ تا انرژی به خوبی به ویفر منتقل شود. پوشش کوارتزی مورد استفاده نیز بسیار خالص و پایدار است؛ بنابراین این لامپها میتوانند در محیطهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ به خوبی کار کنند، بدون اینکه باعث افزایش تعداد ذرات شوند. خروجی انرژی این لامپها در طول بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار، پایدار باقی میماند؛ به طوری که میتوان از یکنواختی حرارتی برای کنترل ابعاد مهم در فرآیندهای لیتوگرافی استفاده کرد.
چرا این موضوع در فرآیندهای لیتوگرافی و پخت نقشههای فوتورزیست مهم است؟
برای کنترل حذف حلالها و کاهش تنش در لایههای فوتورزیست، دمای فرآیند باید در بازههای دقیقی باشد. لامپهای ما باعث ایجاد یکنواختی در دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد میشوند؛ این امر باعث ثبات عرض خطوط، کاهش نقصها و افزایش بازدهی فرآیند میشود. طیف تابشی پایدار این لامپها نیز باعث افزایش دقت تنظیم دما میشود؛ بنابراین نتایج یکنواختی در تمام دستههای تولیدی به دست میآید. مصرف انرژی نیز بهینه شده است؛ همچنین عمر طولانی این لامپها باعث کاهش نیاز به تعویض آنها میشود.
جزئیات عملی:
نصب این لامپها بسیار آسان است؛ اما باید لامپ را با ساختار خاص محفظه RTP و پایه لامپ موجود سازگار کرد. نوع کانکتور، طول قوس الکتریکی و همچنین تنظیمات حرارتی نیز باید بررسی شوند. تنظیمات حرارتی باید پس از ۱۰۰ ساعت کار اولیه انجام شود، تا یکنواختی فرآیند حفظ شود.