حفظ ایمنی هنگام استفاده از روش گرمایش مادونقرمز برای تمیزکاری ویفرها
باشید صادق باشیم: قرار دادن لامپهای مادونقرمز درون ابزارهایی که حاوی مواد شیمیایی قابل اشتعال یا منفجره هستند، کار بسیار خطرناکی است. حتی یک جرقه کوچک یا ترک کوچک در بدنه لامپ، میتواند منجر به فاجعه شود.
ما برای جلوگیری از این مشکل، از روشهای ویژهای برای محافظت از بخشهای الکتریکی استفاده میکنیم. از مواد مخصوص برای محافظت از اتصالات الکتریکی استفاده میکنیم تا از تماس مواد شیمیایی با بخشهای الکتریکی جلوگیری شود.
راز، در محافظت در برابر نفوذ مواد شیمیایی است
ما فقط لامپ را در پوششی قرار نمیدهیم؛ این فرآیند چندمرحلهای است. ابتدا، لامپ درون پوششی از کوارتز با خلوص بالا قرار میگیرد. سپس، از مواد مخصوص برای محافظت از اتصالات الکتریکی استفاده میشود. این کار مانع از نفوذ ترکیبات آلی فرار به داخل اتصالات الکتریکی میشود. ما فقط از موادی استفاده میکنیم که بتوانند در برابر مواد حلکننده قوی مقاومت کنند، بدون اینکه تخریب شوند یا گازهای خطرناکی تولید کنند.
جلوگیری از جرقهها
در محیطهای منفجره، گرما مشکلی ایجاد میکند، اما دشمن واقعی، جرقهها هستند. فقط یک جرقه کوچک کافی است تا فاجعه رخ دهد. به همین دلیل، ما بر روی سیمهای الکتریکی تمرکز زیادی داریم. ما مطمئن میشویم که هیچ بخش الکتریکی در تماس با هوا نباشد. پوشش مخصوص، سیمها و اتصالات الکتریکی را کاملاً پوشانده است. اگر هیچ بخش الکتریکی در معرض هوا نباشد، جرقهای ایجاد نخواهد شد.
معایب این روش
البته، وجود لایه محافظ بین فیلامنت و ویفر، باعث کاهش مقدار گرمای تولید شده میشود. اما این مشکل چندان جدی نیست؛ کافی است تنظیمات توان لامپ را تغییر دهید یا اجازه دهید ویفر چند ثانیه بیشتر در معرض گرما باشد تا دمای مورد نظر حاصل شود.
قابلیت اطمینان در شرایط واقعی
این لامپها طوری ساخته شدهاند که بتوانند در شرایط سخت نیز کار کنند. ما دیدهایم که این لامپها توانستهاند در برابر پاشیدگی مواد شیمیایی مقاومت کنند؛ در حالی که لامپهای معمولی در عرض چند ثانیه خراب میشوند. ما هر دستگاه را تحت آزمایشهای استراحت قرار میدهیم؛ چون میدانیم که چقدر شرایط حرارتی در ابزارهای نیمههادی خشن هستند. اگر محافظت در برابر نفوذ مواد شیمیایی از بین برود، لامپ سریعاً خراب میشود. به همین دلیل، ما بیشتر به اصالت محافظت در برابر نفوذ مواد شیمیایی توجه میکنیم، تا به توان لامپ. بهتر است لامپی داشته باشیم که به طور یکنواخت کار کند، تا لامپی که کمی گرمتر باشد اما خطرناک باشد.