Wie man die Sauberkeit im Vakuumheizprozess gewährleistet
Wenn Sie ein Werkstück in einem Reinraum der Klasse 100 oder in einer Kammer mit hohem Vakuumgrad erhitzen, kennen Sie sicherlich das Problem: Schon ein einziger Staubkorn oder eine kleine Menge an ausgasenden Stoffen kann dazu führen, dass die gesamte Charge unbrauchbar wird.
Herkömmliche IR-Lampen eignen sich dafür einfach nicht. Die meisten von ihnen verwenden billige Klebstoffe oder minderwertiges Glas – dieses beginnt bereits beim Erhitzen, Gase abzugeben. Das führt zu beschädigten Wafern und viel verschwendeter Zeit.
Warum die Materialien wirklich wichtig sind
Wir verwenden für unsere Lampen hochreines gefülltes Silizium. Es handelt sich dabei um ein anderes Material als herkömmliches Quarzglas. Da die Verunreinigungsgrade extrem gering sind, gibt die Lampe bei Erwärmung keine mikroskopischen Partikel ab.
Außerdem haben wir alle organischen Bindemittel und Klebstoffe aus dem Aufbau der Lampe entfernt. Alles wird vor der Lieferung gründlich erhitzt. So müssen Sie sich keine Sorgen um flüchtige organische Verbindungen machen, die ins Vakuum gelangen könnten und die Umgebung verschmutzen könnten.
Die Realität des Vakuumdesigns
Lampen im Vakuum funktionieren anders als in der Luft. Da es keine Luft gibt, die die Wärme wegtragen könnte, wird die Lampenhülle sehr heiß. Sie müssen also sicherstellen, dass Ihr Kühlsystem mit dieser Belastung zurechtkommt. Wenn Sie versuchen, eine Hochleistungs-Lampe ohne geeigneten Wärmeableiter zu verwenden, könnten die Dichtungen beschädigt werden.
Wir legen großen Wert auf die Dichtigkeit zwischen dem Wolframfaden und dem Quarzglas. In einem Vakuumumfeld bedeutet ein kleiner Leck nicht nur einen defekten Lampen – es ist auch eine Kontamination der gesamten Kammer.
Sorgloses Aufstellen der Lampen
Wenn Sie die Lampen anschließen, sollten Sie auf Kunststoffbänder und PVC-behandelte Kabel verzichten. Diese schmelzen fast sofort und geben Gase ab. Nutzen Sie stattdessen PTFE- oder Edelstahlummantelungen.
Das Beste daran: Diese Lampen nutzen direkte Strahlungswärme. Dadurch wird das Teil selbst erhitzt, nicht die umgebende Luft. In einem Reinraum ist das ein großer Vorteil – dadurch wird die Turbulenz verringert, die normalerweise Staub aufwirbelt.
Sie erhalten somit die gewünschte thermische Kontrolle – und Ihre ISO-Klasse bleibt genau dort, wo sie sein sollte.