Hören Sie auf, Zeit mit dem Warten darauf zu verschwenden, dass die Wafer zum Erhitzen kommen.
Wenn Sie weiterhin auf die Zirkulation von Heißluft zur Verarbeitung von Halbleitern angewiesen sind, zahlen Sie im Grunde genommen eine „Zeitsteuer“.
Denken Sie daran, wie funktioniert die Erwärmung durch Gebläseluft: Man muss zunächst den gesamten Raum erhitzen, anschließend das Gas erhitzen – und danach muss man noch warten, bis die Wärme in die Wafer eindringt. Das ist langsam und mühsam.
Die Vakuum-Infrarot-Heizung umgeht diesen Umweg. Anstelle von Luft werden elektromagnetische Strahlen direkt auf das Substrat abgegeben.
Es ist schnell – wirklich schnell.
Da es im Vakuum keine Luft gibt, die im Weg steht, verwenden wir Kurzwellen- oder Mittelwellen-Infrarotlampen, um die gewünschte Temperatur zu erreichen. Während ein Heißluftsystem immer noch Zeit braucht, um stabil zu werden, erreicht eine Infrarotanlage die gewünschte Temperatur innerhalb von Sekunden.
Das verändert alles bezüglich der Produktivität. Außerdem wird keine Energie verschwendet, um die Wände des Raumes zu erwärmen. Die Energie gelangt genau dorthin, wo sie benötigt wird.
Aber Achtung: Es ist nicht so einfach, einfach nur ein Teil auszutauschen.
Man muss auch mit dem „Schatteneffekt“ umgehen. Wenn der Lampenköcher im Weg steht, erhalten einige Bereiche der Wafer nicht die benötigte Wärme. Wir beheben das in der Regel, indem wir mehrere Lampen verwenden oder goldbeschichtete Schutzschirme nutzen, um die Energie zurück auf das Substrat zu lenken.
Und noch ein Hinweis: Diese Hochleistungs-Lampen werden an ihren Enden extrem heiß. Wenn man bei den Kühlkreisläufen oder Kühlschalen spart, können die Anschlüsse zerstört werden. Das ist eine schnelle Art, die Lebensdauer der Lampe zu verkürzen.
Letztendlich geht es darum, vom langsamen Batch-Verfahren zu einem kontinuierlichen Prozess überzugehen. Man ersetzt einen einfachen Förderer durch etwas viel Präziseres. Wenn man die Produktionskapazität erhöhen möchte, ist es die einzige Möglichkeit, die Zykluszeiten zu verkürzen.