Auf der Produktionsfläche zeigen sich Temperaturabweichungen des RTP-Systems nicht nur in Grafiken – sie äußern sich auch in Fehlern bei der Behandlung des Photoresists. Wenn die Lampe an Leistung verliert, verschlechtert sich die thermische Homogenität, und das Prozessfenster wird schnell kleiner. Wir haben diese Ersatzlampen entwickelt, damit die schnellen thermischen Zyklen weiterhin innerhalb der vorgegebenen Parameter bleiben – Schicht für Schicht, ohne Probleme.
Was wirklich wichtig ist Wir wählen Halogenlampen mit präziser Filamentgeometrie und Kurzwellenausstrahlung aus, damit die Energie effektiv in den Wafer übertragen wird. Die Quarzkapsel ist äußerst rein und RF-stabil – dadurch funktioniert die Lampe zuverlässig in Bereichen der Klasse 1–100, ohne dass die Anzahl der Partikel ansteigt. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg konstant, wodurch die thermischen Bedingungen stabil bleiben und eine genaue Kontrolle der kritischen Abmessungen möglich ist.
Warum das in der Lithografie und im Photoresist-Verarbeitungsprozess wichtig ist Sowohl die sanfte als auch die intensive Behandlung des Wafer erfordern präzise Temperaturen, um die Entfernung von Lösungsmitteln sowie den Filmstress unter Kontrolle zu halten. Unsere Lampen sorgen für eine Homogenität auf Waferebene von ±0,1 °C – dadurch bleibt die Linienbreite konstant, Defekte werden reduziert und höhere Erträge erzielt. Das stabile Spektrum sorgt außerdem dafür, dass die Temperaturwerte genau eingehalten werden – somit sind die Ergebnisse unabhängig von Charge oder Schicht gleichbleibend. Der Energieverbrauch ist optimiert, und die lange Lebensdauer der Lampen bedeutet weniger Auswechselmöglichkeiten – was den Produktionsablauf erleichtert.
Praktische Details Die Installation ist einfach – doch die Lampe muss zur spezifischen Geometrie der RTP-Kammer sowie zum vorhandenen Lampensockel passen. Überprüfen Sie außerdem den Anschlusstyp sowie die Länge des Lichtbogens. Nach dem Austausch sollte eine Kalibrierung des thermischen Profils durchgeführt werden. Planen Sie die erste Kalibrierung nach den ersten 100 Betriebsstunden ein, um die Reproduzierbarkeit der Photoresist-Behandlung sicherzustellen.