Wie man die Fahrzeuge in der Reinraumumgebung sicher erhält – und die Wafer unbeschädigt lässt
In einer Halbleiterreinraumumgebung sind die Konsequenzen eines Fehlers äußerst gravierend. Ein kleiner elektrischer Funke oder eine unkontrollierte Partikelentladung kann dazu führen, dass ganze Chargen an Wafern zerstört werden. Das ist ein Albtraumszenario.
Deshalb spielen wir mit den Heizungen in unseren Fahrzeugen nicht herum. Wir bauen sie so, dass die Temperaturen konstant gehalten werden – aber noch wichtiger: Sie dürfen nichts zerstören.
Warum wir jede einzelne Heizung testen
Einige Unternehmen führen „Stichprobenprüfungen“ durch: Sie prüfen jedes zehnte Gerät und gehen davon aus, dass die übrigen in Ordnung sind. Wir machen das nicht. Jede Heizung, die unser Werk verlässt, muss zunächst einer vollständigen Hochspannungstest sowie einem Isolationswiderstandstest unterzogen werden. Punkt.
Die Realität ist folgende: Ein winziger Loch im Isoliermaterial oder ein Terminal, das nicht richtig verbunden wurde, kann zu Leckströmen führen. Solche Ströme können Ihre empfindlichen Geräte beschädigen – oder schlimmer noch: Den Bediener elektrisch schädigen, während er das Fahrzeug bewegt.
Wir stellen die Dielektrizitätsstärke der Heizungen weit über den normalen Betriebsstromwert. Wir möchten sicherstellen, dass sie auch bei Spannungsspitzen funktionsfähig bleiben. Wenn der Isolationswiderstand nicht die erforderlichen Werte erreicht, wird die Heizung entsorgt. Keine Ausnahmen.
Das Gleichgewicht zwischen Wärme und Sicherheit
Es ist schwierig, die richtige Wärmedichte zu erreichen, ohne die Sicherheit zu gefährden. Zunächst verwenden wir hochwertige Isoliermaterialien. Diese dürfen keine Gase abgeben – schließlich ist in einer Klasse 10/100-Umgebung jeder chemische Dampf eine Katastrophe.
Außerdem gibt es ein Gegenüberwiegen zwischen der Dicke des Isoliermaterials und der Geschwindigkeit, mit der die Heizung aufheizt. Dickeres Isoliermaterial sorgt zwar für mehr Sicherheit, verlangsamt aber zugleich die Aufheizgeschwindigkeit. Stellen Sie sicher, dass Ihr Steuergerät damit umgehen kann.
Und noch ein Rat: Versuchen Sie nicht, zu viel Leistung in einen kleinen Raum zu pressen. Dadurch entstehen Hotspots, die im Laufe der Zeit das Isoliermaterial zerstören können.
Ein paar Tipps zur Installation
Sobald diese Heizungen bei Ihnen ankommen und Sie sie in die Fahrzeuge einbauen, tun Sie mir bitte einen Gefallen: Überprüfen Sie die Erdung.
Wir bauen diese Geräte so, dass sie auch unter extremen industriellen Bedingungen funktionieren – vorausgesetzt, die Eingangsspannung bleibt konstant. Doch wenn Ihre Anlage eine instabile Erdung hat, dann spielen alle Tests, die wir durchgeführt haben, keine Rolle mehr. Die Sicherheitsmaßnahmen sind somit wirkungslos.
Halten Sie die Erdung stabil – dann werden diese Heizungen problemlos ihren Job erledigen.