Wie man einen Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber hält
Wenn Sie eine Halbleiterfabrik betreiben, kennen Sie sicherlich das Problem von beschädigten Produktchargen. In einem Reinraum der Klasse 100 kann bereits eine kleine Menge an Ausgasungen oder ein paar Staubpartikel aus einem Heizelement dazu führen, dass die Erträge stark sinken.
Die meisten herkömmlichen Heizlampen eignen sich nicht dafür. Sie beginnen bereits bei Spitzentemperaturen, zu zerfallen oder Verunreinigungen freizusetzen. Das ist wirklich problematisch.
Deshalb verwenden wir hochreinen synthetischen Quarz.
Warum das Material wichtig ist
Wir verwenden gefüllten Siliziumdioxid mit fast keinen metallischen Verunreinigungen. Warum? Weil dadurch die Wafer weiterhin rein bleiben. Herkömmliches Glas oder billiger Quarz können den ständigen Temperaturschwankungen nicht standhalten. Dadurch entstehen Verunreinigungen, die erst spät bemerkt werden – und dann ist es oft schon zu spät.
Unsere Lampen nutzen Kurzwellen-Infrarotstrahlung. Anstatt die Luft um das Zielobjekt zu erhitzen, leiten sie die Energie direkt auf das Substrat. Dadurch bleibt die Luftströmung im Reinraum konstant und die Umgebung stabil.
Installation der Lampen
Diese Lampen sind als Ersatzteile konzipiert. Sie müssen Ihren gesamten Aufbau nicht neu aufbauen. Wir bieten verschiedene Leistungsstärken und Längen an – somit passen sie perfekt in Ihren vorhandenen Aufbau.
Wir verwenden standardmäßige R7- oder Sk15-Anschlüsse. Sie sind robust – es kommt zu keiner Oxidation oder Spannungsabfällen. So bleibt der elektrische Kontakt stabil.
Ein kleiner Tipp: Achten Sie auf die Spannungsabfälle, wenn Sie lange Kabel verwenden. Hochleistungs-Lampen benötigen eine stabile Stromversorgung. Wenn die Spannung schwankt, entstehen ungleichmäßige Wärmeverteilungen auf dem Substrat.
Hinweise
Hochreiner Quarz ist zwar hitzebeständig, doch er ist empfindlich gegenüber Vibrationen und unsachgemäßer Handhabung. Behandeln Sie ihn daher vorsichtig.
Verwenden Sie beim Einbau Vakuumwerkzeuge. Berühren Sie den Quarz auf keinen Fall mit bloßen Händen. Die Öle in Ihrer Haut können „Hitzepunkte“ verursachen, die dazu führen können, dass die Lampe schneller kaputtgeht.
Überprüfen Sie außerdem Ihre Kühlfans. Stellen Sie sicher, dass sie die von den Wandungen der Kammer reflektierte Wärme bewältigen können – sonst besteht die Gefahr, dass die Enden der Lampen überhitzt werden.