ফ্যাব ফ্লোরে, RTP-এর তাপমাত্রার পরিবর্তনগুলো শুধুমাত্র চার্টেই দেখা যায় না; বরং এগুলো ফটোরেজিস্ট বেকিং প্রক্রিয়ায় সমস্যা হিসেবেও প্রকাশ পায়। যখন ল্যাম্পগুলো ঠিকমতো কাজ করে না, তখন তাপীয় সমানতা নষ্ট হয়ে যায় এবং প্রক্রিয়াটি দ্রুত ব্যর্থ হয়ে যায়। আমরা এমন ল্যাম্পগুলো তৈরি করেছি, যাতে ধারাবাহিকভাবে দ্রুত তাপীয় পরিবর্তনগুলো নিয়ন্ত্রণ করা যায়।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা হ্যালোজেন উপাদানগুলোকে নির্দিষ্ট জ্যামিতিক আকৃতি ও স্বল্প-তরঙ্গদৈর্ঘ্যের আউটপুট দিয়ে ডিজাইন করি; যাতে শক্তিটি সঠিকভাবে ওয়েফারে পৌঁছায়। কোয়ার্টজ আবরণটি অত্যন্ত বিশুদ্ধ ও RF-স্থিতিশীল; ফলে এটি Class 1–100 এর পরিবেশেও সঠিকভাবে কাজ করে। 5,000+ ঘন্টা ধরে আউটপুটটি স্থিতিশীল থাকে; ফলে তাপীয় নিয়ন্ত্রণ সহজ হয়।
লিথোগ্রাফি ও ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়ায় এর গুরুত্ব
“সফট বেক” ও “হার্ড বেক” প্রক্রিয়াগুলোতে নির্দিষ্ট তাপমাত্রা বজায় রাখা জরুরি; যাতে দ্রবণীয় পদার্থগুলো সঠিকভাবে অপসারিত হয় এবং ফিল্মের চাপ নিয়ন্ত্রণ করা যায়। আমাদের ল্যাম্পগুলো ±0.1°C এর মধ্যে ওয়েফারের তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করে; ফলে লাইনের প্রস্থ স্থিতিশীল থাকে, ত্রুটিগুলো কমে যায় এবং উৎপাদন ক্ষমতা বৃদ্ধি পায়। স্থিতিশীল স্পেকট্রামের কারণে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ আরও সঠিক হয়; ফলে বিভিন্ন প্রক্রিয়ায় একই ধরনের ফলাফল পাওয়া যায়। শক্তি খরচও কম হয়; ফলে কম ল্যাম্প পরিবর্তন করতে হয়।
ব্যবহারিক বিবরণ
ইনস্টলেশনটি সহজ; কিন্তু ল্যাম্পটিকে RTP চেম্বারের জ্যামিতিক আকৃতি ও বিদ্যমান ল্যাম্প সকেটের সাথে মিলিয়ে নিতে হবে। কানেক্টরের ধরন, আর্ক দৈর্ঘ্য ইত্যাদি যাচাই করুন; পরিবর্তনের পর থার্মাল প্রোফাইল ক্যালিব্রেশন করুন। প্রাথমিক 100 ঘন্টা ব্যবহারের পর আবার ক্যালিব্রেশন করুন; যাতে ফটোরেজিস্ট বেকিং প্রক্রিয়াগুলো সঠিকভাবে চলে।