ফ্যাব মেঝেতে, দ্রুত থের্মাল প্রসেসিংয়ের সময় একটি মাত্র তাপমাত্রার অস্বাভাবিকতা লিথোগ্রাফির ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশনগুলি বিচ্যুত করতে পারে এবং অনেকগুলো ওয়েফারকে স্ক্র্যাপে পাঠাতে পারে। আপনাকে এমন তাপ সরবরাহ করা প্রয়োজন যা তাৎক্ষণিকভাবে পৌঁছে, স্থিতিশীল থাকে, এবং প্রতিটি চক্র পুনরাবৃত্তি হয়। আমরা এমন RTP ল্যাম্প সিস্টেম তৈরি করি যা এই নিয়ন্ত্রণ প্রদান করে ফ্যাব বাজেটকে অতিক্রম না করে।
প্রযুক্তিগত দিক থেকে যা গুরুত্বপূর্ণ
আমরা আপনার RTP প্ল্যাটফর্মের সঙ্গে শর্ট-ওয়েভ হ্যালোজেন বা মিডিয়াম-ওয়েভ ল্যাম্প অপশন মেলাই, যা দ্রুত র্যাম্প রেট এবং স্থিতিশীল steady-state নিয়ন্ত্রণের জন্য টিউন করা। কুইার্টজ এনভেলপ এবং রিফ্লেক্টর জ্যামিতি এমনভাবে নির্বাচিত যা ওয়েফারের উপর তাপমাত্রার প্রোফাইল আকৃতি নির্ধারণ করে। আপনি আশা করতে পারেন ওয়েফার-লেভেলের ইউনিফর্মিটি ±0.1°C এর মধ্যে এবং ফটোরেজিস্ট বেকের রিপিটেবিলিটি যা একটি কঠোর তাপ বাজেটের ভেতরে থাকে।
সিস্টেমটি Class 1 থেকে Class 100 পর্যন্ত ক্লিনরুমের জন্য উপযুক্ত, যেখানে কণা উৎপাদন খুবই কম এবং এমন কোন গ্যাস নির্গমণ নেই যা ফিল্ম দূষিত করতে পারে না। পাওয়ার ডেলিভারি টুলের সাথে মেলানো হয়, সংযোজক এবং ভোল্টেজ অপশন OEM স্পেক অনুযায়ী সমন্বিত, যা বদলানো সহজ এবং কমিশনিং দ্রুত করে।
আপনি যেখানে চলাচল করেন সেখানে কেন এটি কার্যকর
লিথোগ্রাফি ট্র্যাক এবং RTP সেলগুলোতে, সফট বেক, হার্ড বেক এবং এনিল ধাপগুলি পরিচালিত হয় যেখানে তাপমাত্রার সঠিকতা সরাসরি ওভারলে, লাইন-চওড়া এবং ডেফেক্ট পারফর্মেন্স নির্ধারণ করে। আমাদের ল্যাম্পগুলি বেক উইন্ডো স্থিতিশীল করে, পুনঃকাজ কমিয়ে আনে এবং চক্রের সময়সীমা টাইট রাখে। ল্যাম্পের কার্যক্ষম আউটপুট এবং টাইট তাপীয় সংযোজনের মাধ্যমে শক্তি ব্যবহার অপ্টিমাইজ করা হয়, যা ওয়েফার প্রতি খরচ কমায়।
বিশ্বাসযোগ্যতা ২৪/৭ অপারেশনের জন্য তৈরি, মাঠের ডেটা হাজার হাজার ঘন্টা স্থিতিশীল আউটপুট এবং কম অনিচ্ছাকৃত স্থবিরতার কথা দেখায়। ল্যাম্প পরিবর্তন কম হলে ডাউনটাইম কমে এবং স্টকে অতিরিক্ত স্পেয়ার থাকে না।
প্রায়োগিক বিবরণসমূহ
ইনস্টলেশনের সময় নির্ভুল অপটিক্যাল অ্যালাইনমেন্ট প্রয়োজন এবং ল্যাম্প ও রিফ্লেক্টর সঠিকভাবে পরিষ্কারভাবে হ্যান্ডল করতে হবে যাতে ইউনিফর্মিটি বজায় থাকে। ল্যাম্প কার্ভকে নির্দিষ্ট RTP চেম্বার ডিজাইনের সাথে ম্যাচ করা আবশ্যক; অমিল হলে প্রক্রিয়ার স্বাক্ষরে বিচ্যুতি দেখা যাবে।
আমরা কম্প্যাটিবিলিটি ম্যাপিং এবং সেটআপ সহায়তা প্রদান করি, তবে আপনাকে এখনও চেম্বার জ্যামিতি, পাওয়ার ইন্টারফেস এবং কুলিং সীমাবদ্ধতাগুলো নিশ্চিত করতে হবে বদল করার আগে। ল্যাম্পকে একটি ক্যালিব্রেটেড কনজিউমেবল হিসেবে বিবেচনা করুন: ঘণ্টা, আউটপুট এবং তাপমাত্রার অফসেট ট্র্যাক করুন এবং নির্ধারিত সময়ে বদলান যাতে ফলন সুরক্ষিত থাকে।