
如何保持100级洁净室的清洁状态
如果你经营半导体制造厂,那么你肯定知道,一旦产品出现质量问题,那将带来多大的灾难。在100级洁净室环境中,哪怕是微量的气体泄漏或来自加热元件的少量杂质,都可能导致产品质量下降。
大多数普通加热灯根本无法满足这种要求。一旦达到最高温度,它们就会出现裂纹或泄漏杂质的情况,从而引发一系列问题。
因此,我们选择使用高纯度的合成石英材质。
为什么材质如此重要?
我们使用的的是几乎不含金属杂质的熔融硅石。因为这样就能确保晶圆保持纯净状态。而普通的玻璃或廉价石英则无法承受持续的热循环带来的压力,它们会开始产生杂质,进而导致污染,而这种污染往往在为时已晚时才会被发现。
我们的加热灯采用短波红外辐射,而不是加热周围的空气,而是直接将能量传递给工件。这样一来,洁净室内的气流就能保持稳定,环境也能保持稳定。
如何将它们安装到系统中?
这些加热灯设计为可以直接替代现有设备。你无需重新组装整个系统。我们有各种不同功率和长度的型号,完全可以适配现有的设备。
我们使用标准的R7或Sk15连接器,这类连接器非常可靠,不会产生电弧或氧化现象,能够实现稳定的电气连接。
一个小贴士:如果使用较长的电缆,要注意电压下降的问题。高功率的加热灯需要稳定的电力供应,如果电源不稳定,就会导致工件表面出现不均匀的受热现象。
需要注意的是
高纯度石英虽然能承受极端高温,但它非常易碎。它不喜欢振动或粗暴的处理方式,因此必须小心对待。
在安装时,请务必使用真空吸盘工具。千万不要用手直接接触石英,因为皮肤上的油脂会导致局部过热,从而使加热灯过早失效。
另外,还要确保冷却风扇能够有效应对从腔室壁反射过来的热量,否则加热灯的末端可能会过热。