ڈسپلے ڈرائیور آئی سی ویفرز میں، تھرمل ڈرفٹ کو برداشت نہیں کیا جاسکتا۔ اگر درجہ حرارت میں صرف 0.5°C کی بھی تبدیلی ہو جائے، تو فوٹوریزسٹ کی موٹائی میں تغیر پیدا ہو جاتا ہے، اور ایکسپوژر کی درستگی ختم ہو جاتی ہے۔
خشک کرنے کے عمل میں، اگر نمی پوری طرح ختم نہ ہو، تو مائکرو-برجنگ کا خطرہ پیدا ہو جاتا ہے۔ اس کا اثر ہفتوں بعد ہی ظاہر ہوتا ہے۔ ہم نے انہی مشکلات کے حل کے لئے انفراریڈ ہیٹر تیار کیا ہے؛ یہ ہیٹر استعمال کرنے سے درجہ حرارت کو کنٹرول کیا جاسکتا ہے، اور فوٹوریزسٹ کی کارکردگی بھی برقرار رہتی ہے۔
تکنیکی اعتبار سے اہم باتیں
ہم تیز ردِعمل والے کوارٹز ایمیٹرز کے ذریعے شارٹ-ویو انفراریڈ استعمال کرتے ہیں۔ 200 ملی میٹر اور 300 ملی میٹر والے ویفرز میں، درجہ حرارت کی درستگی ±0.1°C کے اندر رہتی ہے۔ بیک-ٹو-بیک درجہ حرارت کی درستگی ±0.2°C کے اندر رہتی ہے، اس لئے سافٹ بیک، ہارڈ بیک، اور فوٹوریزسٹ کی عملیات بغیر کسی رکاوٹ کے جاری رہتی ہے۔
یہ ہیٹر کلاس 1–100 کے کلین رومز میں استعمال کیا جاتا ہے، جہاں کوئی ذرات پیدا نہیں ہوتے، اور یہ بات انلاїн پارٹیکل مانیٹرنگ سے بھی تصدیق ہوتی ہے۔ توانائی کی کھپت کو ریسیپی کے مطابق ایڈجسٹ کیا جاتا ہے، اور تھرمل ریمپ پروفائل 10 ملی سیکنڈ کے اندر دہرایا جاتا ہے۔ اس سے پتلی فلموں کو تھرمل استریس سے بچایا جاسکتا ہے۔
ڈسپلے ڈرائیور آئی سی پروسیسنگ میں اس کی اہمیت
یہ ڈرائیور آئی سی بہت حساس ہے؛ اس لئے تھرمل کنٹرول بہت اہم ہے۔ ہمارے انفراریڈ پروفائل کی بدولت فوٹوریزسٹ کی کارکردگی برقرار رہتی ہے۔ ریورک کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، اور پروسیسنگ کی درستگی بہتر ہو جاتی ہے، کیوں کہ طویل وارم-اپ وقت کی ضرورت نہیں رہتی۔
ویفر کو خشک کرنے کے بعد، دوشیزت کی کمی ہو جاتی ہے، جس سے خرابیوں کی شرح کم ہو جاتی ہے، اور لیتھوگرافی کی کارکردگی بہتر ہو جاتی ہے۔ اس کے نتیجے میں کریٹیکل ڈائمینشن کا کنٹرول بہتر ہو جاتا ہے، خرابیوں کی تعداد کم ہو جاتی ہے، اور پروسیسنگ کے نتائج ہر بار یکساں رہتے ہیں۔
استعمال سے پہلے جاننے کی باتیں
یہ ہیٹر موجودہ ٹریکس اور بیکنگ پلیٹس میں استعمال کیا جاسکتا ہے، لیکن الائنمنٹ بہت اہم ہے۔ ایمیٹر سے ویفر تک کا فاصلہ ±0.5 ملی میٹر کے اندر رہنا ضروری ہے، تاکہ درجہ حرارت کی درستگی برقرار رہے۔
ریسیپی کے مطابق، کیریئر کی تھرمل ماس اور ویفر کی ایمیسیویٹی کو بھی مطابقت دینا ضروری ہے۔ ریمپ ریٹ اور سوکنگ ٹائم کو جاننے کے لئے پہلے ٹیسٹ کرنا ضروری ہے۔ ایک بار سیٹ ہونے کے بعد، یہ ہیٹر 24/7 کام کرتا رہتا ہے، اور لیمپس 5,000 گھنٹوں تک مستقل طور پر کام کر سکتے ہیں۔