Під час обробки чипів-драйверів дисплеїв навіть незначні температурні зміни можуть призвести до проблем. Навіть незначна похибка у температурі в 0,5°C може спричинити зміни у товщині фотополімеру. Це, у свою чергу, призводить до зниження якості продукції.
У камері висушування волога, яка не повністю видаляється, може спричинити утворення мікрокомунікацій між елементами чипа. Це стає помітним лише через кілька тижнів після обробки. Ми розробили інфрачервоний нагрівач саме для подолання цих проблем – щоб забезпечити точний контроль температури, відсутність похибок та стабільність процесу.
Що є важливим з технічної точки зору Ми використовуємо короткохвильове інфрачервоне випромінювання з швидкореагуючими кварцовими емітерами. Для пластин діаметром 200 мм та 300 мм досягається однорідність температури на рівні ±0,1°C. Повторюваність температури під час процедури нагрівання становить ±0,2°C, тож процес нагрівання та в’ялення фотополімеру відбувається точно за заданими параметрами.
Процес обробки відбувається у чистих кімнатах класу 1–100, де не виникає жодних частинок. Енергоспоживання налаштовується відповідно до специфікацій, а профілі температурного нагрівання повторюються протягом 10 мс. Це захищає тонкі шари матеріалів від температурних навантажень.
Чому цей метод підходить для обробки чипів-драйверів дисплеїв Чипи-драйвери дуже чутливі до температури: використовуються діелектрики з низькою проникною здатністю, тонкі метали тощо. Тож необхідний строгий контроль температури. Завдяки нашому інфрачервоному нагрівачу можна забезпечити стабільну роботу фотополімеру. Це зменшує кількість бракованих виробів та полегшує процес переходу між різними моделями чипів.
Висушування пластин відбувається якісно, що знижує кількість дефектів та забезпечує стабільність процесу літографії. Це дозволяє краще контролювати критичні розміри чипів, зменшує кількість помилок та забезпечує стабільність процесу на кожному етапі.
Що потрібно знати перед початком використання Нагрівач може встановлюватися в наявні системи нагрівання, але необхідно дотримуватися суворих параметрів поставки. Відстань від емітера до пластини має залишатися в межах ±0,5 мм для забезпечення однорідності температури.
Необхідно також враховувати теплоємність носія та емісійність зворотної сторони пластини. Перед початком використання потрібно провести короткий тестовий запуск, щоб визначити оптимальні параметри нагрівання. Після цього пристрій може працювати 24/7 з мінімальним обслуговуванням. Лампи розраховані на роботу понад 5 000 годин зі стабільною продуктивністю.