На поверхні плитки при процедурі м’якого висушування достатньо лише напруження у половину градуса, щоб контрольований профіль фотополімеру змінився через варіації товщини. Для запобігання таким змінам було створено нагрівач для елліпсометричного зонду. Його було розроблено з урахуванням особливостей теплового режиму під час сушіння плитки, попереднього висушування фотополімеру та після процедури експозиції – адже саме однорідність температури визначає геометрію пристрою.
Що є важливим у цьому пристрої
У складі пристрою є випромінювач короткохвильового інфрачервоного світла, який поєднується з кварцово-стабілізованою тепловою системою. Це дозволяє підтримувати однорідність температури на поверхні плитки в межах ±0,1°C. Зміна параметрів керування відбувається миттєво, без перевищення заданих значень. Пристрій придатний для використання в чистих приміщеннях класу 1; матеріали та поверхневе покриття запобігають утворенню частинок. Робочі параметри залишаються стабільними протягом 5 000 годин, тож пристрій може працювати 24/7 з можливістю планування періодів обслуговування.
Чому це важливо на виробництві
У повсякденній практиці така точність дозволяє уникнути необхідності повторної обробки фотополімеру та зберігати однорідність температури в усій системі. Повторюваність процедури м’якого висушування сприяє кращому контролю товщини фотополімеру, що, у свою чергу, позитивно впливає на контроль розташування елементів на плитці та їх критичних розмірів. Стабільний тепловий профіль зберігається під час процедури жорсткого висушування, що запобігає виникненню нерівномірностей через теплові навантаження. Крім того, енергія економиться, оскільки випромінювач нагріває сам об’єкт обробки, а не стінки камери. Також збільшується час роботи пристрою без необхідності перерв через теплові зміни.
Деталі, які забезпечують ефективність пристрою
Встановлення пристрою полягає у правильному підборі геометрії зонда та емісійності поверхні плитки. Діелектричні шари та металізація ззаду можуть змінити ефективні параметри пристрою на кілька градусів. Необхідно заздалегідь спланувати місце встановлення пристрою та налаштувати параметри контролера відповідно до особливостей плитки. Після цього пристрій забезпечує необхідну повторюваність результатів обробки.