Temizleme işleminden sonra yapılan durulama adımının etkinliği, ardından gelen kurutma adımına bağlıdır. Eğer termal kontrol yetersizse, su lekeleri, yüzey gerilimi farklılıkları ve mikro kirler ortaya çıkar. Bu tür değişkenlikleri ortadan kaldırmak için wafer kurutma lambası modülünü geliştirdik; böylece wafer, stabil ve kuru bir yüzeyle ve öngörülebilir bir termal yapıyla litografi işlemine tabi tutulur.
Asıl önemli olan şeyler
Bu modül, hızlı ve yüzey seçici ısıtma sağlamak amacıyla kuvars destekli bir lamba paketinde kısa dalga ve orta dalga kızılötesi kaynakları bir araya getirir. Wafer üzerindeki hedef sıcaklık ±0.1°C içinde tutulur ve mekansal düzenlilik de aynı tolerans aralığında kalır. Bu modül, Sınıf 1 temiz oda koşullarına uygun şekilde tasarlanmıştır; düşük gaz salınımı olan malzemeler kullanılır ve parçacık oluşumunu sıfıra indiren bir hava akış sistemi bulunur. Güç yoğunluğu, durulama filmini hızlıca uzaklaştıracak şekilde ayarlanmıştır; böylece fotoresistin termal dengesi bozulmaz.
Neden bu çözüm uygundur?
Temizlemeden sonra, fotoresist işlemlerinden önce waferin kuru ve kirlenmemiş olması gerekmektedir. Bu lamba sayesinde wafer saniyeler içinde kurur; böylece işlem süresi azalır ve wafer termal strese maruz kalmaz. Yumuşak ve sert pişirme işlemleri de stabil kalır, çünkü yüzey koşulları sabittir; bu da çözücülerin buharlaşmasını etkileyen gizli suyun olmamasını sağlar. İşlem tekrarlanabilirliği artar ve planlanmayan duruş süreleri azalır; çünkü bu modül 24/7 çalışacak şekilde tasarlanmıştır ve 5.000 saatten fazla süre boyunca stabil çıkış sağlar.
Daha sonra minnettar olacağınız bilgiler
Montaj sırasında işlem odasının egzoz sistemine tam olarak uyum sağlanmalı ve lamba terminallerindeki voltajın stabil olduğundan emin olunmalıdır. Çıkış gücü, lambanın konumuna bağlıdır; bu yüzden konumu bir kez belirleyip kaydedin ve sabitleyin. Lamba, temiz odadaki nem oranı işlem koşulları içinde tutulduğunda en iyi performansı gösterir; bu aralığın dışına çıkılırsa kurutma süresi değişmeye başlar. ±0.1°C’lik tekrarlanabilirliği korumak için düzenli olarak güç kalibrasyonu yapılmalıdır.