Üretim tesislerinde, waferlerin kurutulması veya fotoresistlerin pişirilmesi sırasında meydana gelen sıcaklık değişiklikleri, sadece SPC grafiklerinde görülen küçük sapmalar değildir. Bu durum, basitçe verim kaybına yol açar. Yüksek sıcaklıkta ısıtma işlemleri için kullandığımız çözüm, kısa dalga boylu kızılötesi (NIR) ısıtma teknolojisine dayanmaktadır; çünkü bu yöntem, yüzeye dokunmadan stabil ve hızlı bir şekilde ısı sağlar.
Önemli olanlar
NIR enerjisi, wafer ve bant yapısını hızla geçer; böylece belirlenen sıcaklığa hızla ulaşılır ve orada kalınır. Wafer üzerindeki sıcaklık tekerrürü ±0,1°C civarındadır; bu da maruziyet sonrasında kritik boyutların sabit kalmasını sağlar. Sistem, hem yumuşak hem de sert pişirme işlemlerini, katı bir termal kontrol sistemiyle gerçekleştirir; böylece fotoresistlerin yeniden erimesiyle ilgili sorunlar azalır.
Bu sistem, Class 1–100 standartlarına uygun şekilde tasarlanmıştır; düşük parçacıklı malzemeler kullanılır ve gaz salınımı en aza indirgenmiştir. Isıtıcılar gün boyu yüksek sıcaklıkta çalışır ve performansı binlerce işlem boyunca korunur.
Neden bu sistem işlemlere uygundur?
Her seferinde tekrarlanabilir sonuçlar elde etmek için temizleme işlemlerinden sonra kurutma ve spin-kaplama işlemlerinden sonra pişirme işlemleri gereklidir. NIR teknolojisi, talep edildiğinde ısı sağlar; böylece beklenme süresi kısalır ve enerji tüketimi azalır. Bu da daha iyi boyut kontrolü, daha az revizyon gerektiren ürünler ve güvenilir bir üretim kapasitesi anlamına gelir.
Bant arayüzü, birden fazla işlem sırasında da stabil kalır; böylece her parti arasında termal kontakt tutarlı kalır.
Dikkat edilmesi gerekenler
NIR teknolojisi, doğrudan görüş mesafesinde çalışır ve aralıkları tolere etmez. Bant, wafer üzerinde eşit kalınlıkta ve yapışkanlıkta olmalıdır; aksi takdirde yerel sıcak noktalar ortaya çıkar. Kontrollü hava akışı ve dış etkilerin engellenmesi için planlama yapılmalıdır.
Bant seçimi ve sabitleme konularında uygulama notları sağlıyoruz. Tam transfer işlemine başlamadan önce, o bölgedeki sıcaklığı ölçmek için kısa bir test yapmanızı öneririm.