ในโรงงานผลิตชิป การเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิระหว่างขั้นตอนการทำให้วงจรร้อนหรือการอบวัสดุโฟโตรีซิสต์นั้น ไม่ใช่เพียงแค่ค่าที่เกิดขึ้นชั่วคราวเท่านั้น แต่มันยังส่งผลให้ประสิทธิภาพในการผลิตลดลงอีกด้วย เราจึงออกแบบระบบการให้ความร้อนด้วยคลื่นอินฟราเรดสั้น เพราะวิธีนี้จะช่วยให้เกิดความร้อนที่สม่ำเสมอและรวดเร็ว โดยไม่ต้องสัมผัสกับวัสดุโดยตรง
สิ่งที่สำคัญ พลังงานอินฟราเรดสั้นสามารถทะลุผ่านวงจรและแถบผ้าที่ใช้ห่อหุ้มวงจรได้อย่างรวดเร็ว ทำให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ โดยมีความแปรปรวนของอุณหภูมิเพียง ±0.1°C เท่านั้น ซึ่งช่วยให้สามารถควบคุมขนาดของวงจรได้อย่างดีหลังจากการอบ ระบบนี้สามารถรองรับการอบแบบอ่อนและแบบแข็งได้ พร้อมทั้งมีการควบคุมอุณหภูมิอย่างเข้มงวด ทำให้ความแปรปรวนของวัสดุโฟโตรีซิสต์ลดลง
ระบบนี้เหมาะสำหรับการใช้งานในห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100 เนื่องจากมีวัสดุที่มีปริมาณฝุ่นน้อย และมีการออกแบบที่ช่วยลดการปล่อยก๊าซออกมา หัวเตาสามารถทำงานได้ตลอดเวลาที่อุณหภูมิสูง และสามารถทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพซ้ำแล้วซ้ำเล่า หลายพันครั้ง
เหตุผลที่เหมาะกับกระบวนการผลิต คุณจำเป็นต้องมีขั้นตอนการทำให้วงจรแห้งหลังจากการทำความสะอาด และขั้นตอนการอบหลังจากการเคลือบวัสดุโฟโตรีซิสต์ เพื่อให้ได้ผลลัพธ์ที่สม่ำเสมอในทุกครั้งที่ผลิต การใช้คลื่นอินฟราเรดสั้นจะช่วยให้คุณได้รับความร้อนตามที่ต้องการ ทำให้เวลาการอบลดลง และปริมาณพลังงานที่ใช้ก็ลดลงด้วย โดยยังคงรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิไว้ได้ นั่นหมายความว่าคุณสามารถควบคุมขนาดของวงจรได้ดีขึ้น มีการปรับแก้น้อยลง และมีประสิทธิภาพในการผลิตที่สูงขึ้น
สิ่งที่ควรระวัง คลื่นอินฟราเรดสั้นต้องสามารถส่งผ่านได้โดยตรง ดังนั้นแถบผ้าที่ใช้ห่อหุ้มวงจรจึงต้องมีความหนาและความเหนียวที่สม่ำเสมอทั่วทั้งวงจร มิฉะนั้นจะเกิดจุดร้อนขึ้นได้ คุณควรวางแผนเรื่องการระบายอากาศและการป้องกันไม่ให้มีแสงสะท้อนเข้ามาด้วย
เรามีเอกสารแนะนำเกี่ยวกับการเลือกแถบผ้าและวิธีการยึดแถบผ้าไว้ให้ และผมขอแนะนำให้ทำการทดสอบเบื้องต้นเพื่อตรวจสอบอุณหภูมิในแต่ละบริเวณก่อนที่จะนำระบบนี้มาใช้จริง