Voorkom dat één kapotte lamp je hele productieproces verwoest
In een systeem met hoge belasting is het niet alleen storend wanneer één lamp kapotgaat; het is zelfs een nachtmerrie.
Wanneer een kwartstube barst, raak je niet alleen je warmtebron kwijt. Er vallen ook scherven van de glasbuis en halogeengas naar beneden, recht op je productiezone. Het is een puinhoop, het is duur, en het kan ertoe leiden dat een hele lading wafers binnen seconden beschadigd raakt.
Daarom hebben we onze infraroodlampen op deze manier ontworpen. We wilden dit probleem van ‘secundaire vervuiling’ voorkomen, nog voordat het überhaupt kan optreden.
Het behouden van de orde
Zo lossen we dit op: we wikkelen de halogeenbuis in een sterke beschermende huls. Denk erbij aan een soort veiligheidskooi. Als de binnenste lamp onder druk breekt of simpelweg kapotgaat, wordt alles opgevangen door deze huls. De brokstukken blijven op hun plek, zodat je silicium schoon blijft.
We hebben ook veel tijd besteed aan de verzegelingen. Hier gebeurt meestal iets mis. We gebruiken speciale dichtingen, zodat zelfs wanneer het vacuüm faalt, de lekkage wordt tegengehouden. Geen verrassingen, geen vervuiling.
Omgaan met de hitte
Lampen met hoge vermogens worden razendsnel erg heet. Als je goedkoop kwarts gebruikt, ontstaan er microbarsten. Die beginnen klein, maar na een paar keer snel opstarten of afsluiten, breken ze.
We gebruiken synthetisch kwarts van hoge kwaliteit, omdat dit materiaal de thermische stress beter kan verdragen. Het is sterker en duurt langer.
Een tip: houd de koeling in de gaten. Onze lampen kunnen de hitte aan, maar het chassis moet wel in staat zijn om de lucht rondom te laten circuleren. Als het chassis te heet wordt, zal de levensduur van de lamp drastisch verminderen. Dat is het hele principe.
Het gemak vergroten
Niemand wil alle kabels opnieuw aanleggen alleen maar om één onderdeel te vervangen. Daarom hebben we gestandaardiseerde connectoren gebruikt. Dit maakt het gemakkelijk om onderdelen te vervangen.
Het is een klein detail, maar het voorkomt installatieproblemen. Geen elektrische storingen meer – wat, eerlijk gezegd, een grote oorzaak is waarom lampen al snel kapotgaan.
Natuurlijk blokkeert de beschermende laag een klein beetje van de infraroodstraling. Maar vergeleken met het feit dat je de hele ruimte moet schoonmaken na een defecte lamp, is dit een prijs die we bereid zijn te betalen.