제조 공정에서 RTP의 온도 변동은 단순히 그래프에만 나타나는 것이 아니라, 포토레지스트의 건조 과정에서 오류가 발생하거나 불균일성이 생기는 형태로도 나타납니다. 램프의 성능이 저하되면 열적 균일성이 떨어지고, 공정의 안정성도 급격히 낮아집니다. 우리는 이러한 문제를...

제조 현장에서는 급속 열처리 중 단 한 번의 온도 변동만으로도 리소그래피 크리티컬 치수가 벗어나 많은 웨이퍼가 폐기될 수 있습니다. 즉시 도달하는 열, 일정하게 유지되는 열, 그리고 반복되는 사이클이 필요합니다. 저희는 그러한 제어를 제공하면서도 제조 비용을 과도하게...