Mengapa Kita Beralih ke Metode Pengeringan dengan Sinar Infra Merah untuk Chip Bebas Timbal
Tren penggunaan teknologi semikonduktor yang “ramah lingkungan” dan bebas timbal bukanlah sekadar tren semata—itu merupakan arah perkembangan industri ini. Selama ini, kita bergantung pada oven konveksi untuk proses pengeringan. Namun, sebenarnya cara ini membuang-buang energi. Prosesnya lambat, membutuhkan banyak listrik, dan partikel-partikel di udara akan menyebar ke mana-mana.
Itulah mengapa kita beralih ke metode pengeringan menggunakan sinar inframerah. Alih-alih memanaskan seluruh ruangan, sinar inframerah mengirimkan energi langsung ke permukaan wafer. Tidak ada perantara, tidak ada udara panas. Hanya radiasi langsung saja.
Bagaimana prinsip kerjanya?
Bayangkan saja: lampu inframerah dapat “berkomunikasi” dengan bahan fotoresist atau zat pengering tersebut. Ketika cahaya tersebut menyentuh permukaan wafer, cahaya tersebut langsung diserap. Tidak perlu menunggu ruangan mencapai suhu tertentu. Cukup nyalakan saklar, maka suhu akan langsung naik. Ini merupakan keuntungan besar, karena kita tidak perlu lagi menggunakan bahan penstabil berbasis timbal yang digunakan oleh oven konveksi tradisional.
Kami menggunakan sinar inframerah berfrekuensi rendah. Sinar ini mampu menembus lebih dalam dan memberikan efek pengeringan yang lebih cepat. Dengan demikian, substrat silikon tidak perlu dibiarkan dalam kondisi panas untuk waktu yang lama. Dengan begitu, “anggaran termal” yang dibutuhkan pun tetap rendah, dan wafer tetap dalam kondisi baik.
Kelebihan dan Kekurangan
Tentu saja, metode ini tidaklah sempurna. Ketika energi dikumpulkan di satu titik tertentu, sensor-sensor yang digunakan harus sangat akurat. Jika sensor inframerah tidak disetel dengan tepat sesuai frekuensi cahaya lampu, maka suhu bisa melebihi batas yang diinginkan. Hal ini bisa menyebabkan bagian tepi wafer terbakar. Triknya adalah menyeimbangkan daya lampu dengan sistem umpan balik yang tepat, sehingga suhu tetap stabil.
Membuat Pabrik Lebih Bersih
Yang paling bagus adalah sistem inframerah membuat pabrik menjadi lebih bersih. Tidak ada sisa-sisa pembakaran atau aliran udara yang mengandung bahan kimia di area ruang bersih. Bagi para insinyur, ini merupakan mimpi yang menjadi kenyataan. Mesin-mesinnya lebih kecil, dan kita tidak perlu menggunakan saluran udara yang rumit. Sistem ini dapat digunakan di tempat yang sebelumnya digunakan sebagai saluran udara konvensional, sehingga membantu pabrik mencapai tujuan karbon netral tanpa menghambat proses produksi.