Pada tahap pembersihan, kualitas proses pencucian hanya sebaik tahap pengeringan yang dilakukan setelahnya. Jika kontrol suhu tidak tepat, maka akan muncul noda air, ketidakmerataan tegangan permukaan, serta kontaminasi mikro. Kami merancang modul pengeringan wafer ini untuk menghilangkan variabilitas tersebut setelah proses pembersihan, sehingga wafer memiliki permukaan yang kering dan stabil, serta kondisi termal yang dapat diprediksi.
Apa yang benar-benar penting Modul ini menggunakan sumber inframerah berfrekuensi pendek dan menengah yang terdapat dalam paket lampu berbahan kuarsa. Dengan demikian, suhu permukaan wafer dapat dikontrol dengan akurasi hingga ±0,1°C. Keseragaman suhu di seluruh permukaan wafer juga terjaga dalam rentang yang sama. Modul ini cocok digunakan di ruang bersih kelas 1, karena menggunakan bahan-bahan yang minim emisi gas, serta sistem aliran udara yang mampu menjaga jumlah partikel tetap nol selama operasi berlangsung. Kepadatan daya pada modul ini dirancang sedemikian rupa agar lapisan cairan yang tersisa dapat hilang dengan cepat, tanpa menyebabkan gangguan pada proses fotorezist.
Mengapa hal ini cocok untuk proses produksi Setelah proses pembersihan, wafer perlu dalam keadaan kering dan bebas kontaminasi sebelum proses fotorezist dilakukan. Modul ini dapat mengeringkan wafer dalam hitungan detik, sehingga waktu siklus menjadi lebih singkat, tanpa menimbulkan stres termal pada wafer. Proses pengeringan tetap stabil karena permukaan wafer yang konsisten—tidak ada air yang bisa mengganggu proses penguapan pelarut. Repetibilitas proses pun meningkat, dan waktu henti yang tidak terplanes pun berkurang, karena modul ini dirancang untuk beroperasi 24/7, dengan kinerja yang stabil selama lebih dari 5.000 jam.
Catatan penting yang perlu Anda ingat Pemasangan modul ini membutuhkan penyesuaian yang tepat terhadap saluran pembuangan udara di ruang proses, serta stabilitas tegangan pada terminal lampu. Intensitas cahaya yang dihasilkan sangat dipengaruhi oleh posisi lampu, jadi aturlah posisinya sekali saja, catatlah, dan pastikan posisinya tetap stabil. Lampu ini akan berfungsi optimal jika kelembapan ruang bersih berada dalam rentang yang ditentukan; jika melebihi rentang tersebut, waktu pengeringan akan berubah. Lakukan kalibrasi intensitas cahaya secara rutin agar akurasi suhu tetap terjaga pada level ±0,1°C.