डिस्प्ले ड्राइवर IC निर्माण में, थर्मल ड्रिफ्ट को बर्दाश्त नहीं किया जा सकता। यदि तापमान में 0.5°C का भी अंतर हो जाए, तो फोटोरेजिस्ट की मोटाई में भी बदलाव हो जाता है; इससे उत्पादन प्रक्रिया प्रभावित हो जाती है।
सुखाने की प्रक्रिया में, यदि नमी पूरी तरह न निकले, तो माइक्रो-ब्रिजिंग की समस्या उत्पन्न हो जाती है। ऐसी समस्याएँ कई हफ्तों बाद ही पता चलती हैं। हमने इन्हीं समस्याओं को दूर करने हेतु इन्फ्रारेड हीटर विकसित किए हैं – ताकि तापमान में कोई बदलाव न हो, एवं उत्पादन प्रक्रिया नियंत्रित रहे।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें
हम तेज़ प्रतिक्रिया वाले क्वार्ट्ज एमिटरों का उपयोग करते हैं। 200 मिमी एवं 300 मिमी आकार के वेफरों में तापमान में ±0.1°C की समानता बनी रहती है। बेकिंग प्रक्रिया में तापमान में ±0.2°C की समानता बनी रहती है; इससे फोटोरेजिस्ट का उपयोग सही तरीके से हो पाता है।
यह हीटर क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में ही उपयोग में आता है; ऐसे वातावरण में कोई कण उत्पन्न नहीं होता। ऊर्जा खपत भी नियंत्रित रहती है, एवं तापमान संबंधी मान 10 मिलीसेकंड के भीतर ही पुनरावृत्त होते हैं। इससे पतली परतों पर थर्मल स्ट्रेस नहीं पड़ता।
डिस्प्ले ड्राइवर IC निर्माण में इसका उपयोग क्यों महत्वपूर्ण है?
डिस्प्ले ड्राइवर IC निर्माण में उपयोग होने वाले सामग्रियाँ बहुत ही संवेदनशील होती हैं – लो-के डाइइलेक्ट्रिक्स, पतली धातुप्लेटें, आदि। इसलिए तापमान नियंत्रण बहुत ही महत्वपूर्ण है। हमारे इन्फ्रारेड हीटरों के उपयोग से फोटोरेजिस्ट का प्रदर्शन बेहतर रहता है। इससे पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं प्रक्रिया अधिक सटीक रूप से चलती है।
इसे उपयोग में लाने से पहले जानने योग्य बातें
यह हीटर मौजूदा ट्रैकों एवं बेकिंग प्लेटों में ही उपयोग में आ सकता है; लेकिन इसके लिए सही संरेखण आवश्यक है। एमिटर एवं वेफर के बीच की दूरी ±0.5 मिमी के भीतर ही होनी चाहिए, ताकि समानता बनी रहे।
प्रक्रिया को सही ढंग से चलाने हेतु, कैरियर के थर्मल मास एवं वेफर की विकिरण क्षमता को भी ध्यान में रखना आवश्यक है। पहले ही एक छोटा परीक्षण करके तापमान एवं समय संबंधी मानों को निर्धारित कर लेना चाहिए। एक बार यह सेट हो जाने के बाद, यह 24/7 बिना किसी रखरखाव के ही काम करता है। इन लैंपों की उम्र 5,000+ घंटों तक है।