באזור הייצור, שינויי הטמפרטורה ב-RTP לא נראים רק על הגרף – הם מתבטאים גם בשגיאות בתהליך העיבוד של הפוטורזיסט. כאשר הנורה מתחילה לתפקד בצורה לא אופטימלית, האחידות התרמית נפגעת, וחלון הפעולה של התהליך מצטמצם במהירות. יצרנו נורות חלופיות אלו כדי לשמור על אחידות תרמית במהלך סיבובי הייצור הרבים, ללא בעיות.
מה חשוב בתהליך הייצור אנו בוחרים את הרכיבים ההלוגניים כך שיהיו בעלי גאומטריה מדויקת של החוט ופליטת אור בגלים קצרים, כך שהאנרגיה תועבר בצורה יעילה אל הוופר. המעטפת של הנורה עשויה מקוורץ טהור ביותר, והיא יציבה מבחינת רשתות ה-RF – כך שהנורה תפעל בצורה יעילה בתנאי Class 1–100, מבלי לגרום לעלייה במספר החלקיקים. הפליטה נשארת יציבה לאורך 5,000 שעות ויותר, כך שניתן לשמור על אחידות תרמית ועל שליטה בממדים החשובים.
למה זה חשוב בתהליך הליתוגרפיה ועיבוד הפוטורזיסט יש צורך בשליטה קפדנית בטמפרטורה כדי לשלוט בהסרת הממסים ובמתח בסרט הפוטורזיסט. הנורות שלנו מאפשרות אחידות תרמית ברמה של ±0.1°C, מה שמאפשר שמירה על רוחב הקווים יציב, הפחתת הפגמים, ושמירה על שיעורי ייצור גבוהים. הספקטרום היציב של הנורות מאפשר שליטה מדויקת בטמפרטורה, כך שניתן לקבל תוצאות עקביות בכל סיבובי הייצור. צריכת האנרגיה מומרכזת, והחיי הארוכים של הנורות מאפשרים שימוש בהן לאורך זמן, ובכך לשמור על רצף הייצור.
פרטים מעשיים ההתקנה פשוטה, אך יש להתאים את הנורה לגאומטריה הספציפית של תא ה-RTP ולחיבור הקיים. יש לבדוק את סוג החיבור, את אורך הקשת החשמלית, ולבצע כיול של הטמפרטורה לאחר ההחלפה. יש לתכנן כיול נוסף לאחר 100 שעות של פעולה, כדי לשמור על עקביות בתהליך עיבוד הפוטורזיסט.