על רצפת המפעל, טמפרטורה אחת גבוהה במהלך עיבוד תרמי מהיר מספיקה כדי לגרום להזזה בממדי הליתוגרפיה ולשלוח הרבה ופרים לפסולת. אתה צריך חום שמגיע מיד, נשאר יציב, וחוזר על עצמו מחזור אחרי מחזור. אנו בונים מערכות מנורת RTP שמספקות שליטה כזו מבלי לשבור את התקציב של המפעל. מה שחשוב טכנית אנו מתאימים את פלטפורמת ה-RTP שלך עם אפשרויות מנורת הלוגן קצרה או בינונית, מכוונות לקצב עלייה מהיר ושליטה יציבה במצב יציב. העטיפה מזכוכית והגיאומטריה של המשקף נבחרות כדי לעצב את הפרופיל התרמי על פני הוופר. אתה יכול לסמוך על אחידות ברמת הוופר של ±0.1°C וחזרתיות של אפיית פוטורזיסט שנשארת בתוך תקציב תרמי הדוק. המערכת מתאימה לחדר נקי מדגם Class 1 עד Class 100, עם ייצור חלקיקים נמוך ולא קיימת פליטה שתזהם את הסרטים. אספקת הכוח מותאמת לכלי, עם אפשרויות חיבור ומתח שמתואמות למפרטי OEM, כך שהחלפות צפויות וההתקנה מהירה. למה זה עובד היכן שאתה מפעיל את זה במסילות ליתוגרפיה ותאי RTP, אתה מפעיל שלבים של אפייה רכה, אפייה קשה, והנעה שבהם דיוק הטמפרטורה קובע ישירות את ההOverlay, רוחב הקו וביצועי הפגמים. המנורות שלנו מייצבות את חלון האפייה, מקטינות את הצורך בעבודות חוזרות, ושומרות על זמני מחזור הדוקים. השימוש באנרגיה אופטימלי על ידי תפוקת מנורה יעילה וחיבור תרמי הדוק, מה שמפחית את העלות לכל וופר. האמינות נבנית לפעולה 24/7, עם נתוני שדה המראים אלפי שעות בתפוקה יציבה ופחות הפסקות לא מתוכננות. פחות החלפות מנורה פירושן פחות השבתות ופחות חלקי חילוף במלאי. הנה הפרטים המע Praktיים ההתקנה דורשת יישור אופטי מדויק וטיפול נקי במנורה ובמשקף כדי לשמור על האחידות היכן שהיא צריכה להיות. התאמת עקומת המנורה לעיצוב תא ה-RTP הספציפי היא בלתי ניתנת למשא ומתן; חוסר התאמה יתבטא כהזזה בחותמת התהליך. אנו מספקים מיפוי תאימות ותמיכה בהתקנה, אך עדיין עליך לאשר את גיאומטריית התא, ממשק הכוח ומגבלות הקירור לפני ההחלפה. התייחס למנורה כמו לצרכן מכויל: עקוב אחר שעות, תפוקה והסטות טמפרטורה, והחלף לפי לוח הזמנים כדי להגן על התשואה.