בשלב הייצור של שבבי מנהלי התצוגה, רכיבי ה-IC אינם סובלים סטיות תרמיות. אפילו סטייה של 0.5°C בטמפרטורה עלולה לגרום לשינויים בעובי הפוטורזיסט. כך גם האפשרויות לשליטה בטמפרטורה פוחתות.
בחדרי הייבוש, לחות שלא נעלמת לחלוטין עלולה לגרום לבעיות כמו יצירת “גשרים” זעירים בין החלקיקים. אי אפשר לראות את זה עד שהאיכות של המוצר יורדת לאחר מספר שבועות. ייצרנו את החיממים באינפרא-אדום שלנו כדי לפתור בעיות אלו – שליטה קפדנית בטמפרטורה, ללא אפשרות לסטיות, ושגרתיות בתהליך הייצור.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנו משתמשים בחיממים באינפרא-אדום עם גלי אור קצרים, יחד עם גלאי קוורץ בעלי תגובה מהירה. על גבי שבבים בגודל 200 ממ ו-300 ממ, ניתן להשיג אחידות בטמפרטורה של ±0.1°C. השגרתיות בטמפרטורה בין תהליכי חימום שונים היא ±0.2°C, כך שהחימום ותהליך ייבוש הפוטורזיסט נעשים בצורה מדויקת, ללא צורך בתיקונים.
החיממים פועלים בחדרים נקיים מסוג Class 1–100, ללא יצירת חלקיקים, כפי שניתן לוודא באמצעות מעקב אחר החלקיקים בזמן אמת. צריכת האנרגיה מותאמת לפי ההוראות, והטמפרטורה נשמרת בצורה קבועה בתוך 10 מס”. זה מגן על שכבות החומר הדקות מפני לחצים תרמיים.
למה זה חשוב בתהליך ייצור של שבבי מנהלי התצוגה? השבבים רגישים מאוד: חומרים דיאלקטריים בעלי ערך נמוך, מתכות דקות, ומרווחים קטנים בין החלקיקים. לכן, יש צורך בשליטה קפדנית בטמפרטורה. באמצעות החיממים שלנו, ניתן לשמור על איכות הפוטורזיסט. כך יורדת כמות התיקונים הנדרשים, והתהליך נעשה יעיל יותר.
ייבוש השבבים נעשה בצורה אחידה, מה שמפחית את רמת הפגמים ומייצב את תהליך הייצור. התוצאה היא שליטה טובה יותר בממדים החשובים של השבב, פחות תקלות, ותהליך ייצור יציב.
דברים שצריך לדעת לפני שמשתמשים בחיממים אלו החיממים יכולים להתחבר למערכות הקיימות, אך יש צורך בהתאמה מדויקת. המרחק בין החיממים לשבבים חייב להיות בין ±0.5 ממ כדי לשמור על אחידות.
יש צורך להתאים את המסה התרמית של החיממים למסה התרמית של השבבים. יש לבצע ניסויים קצרים כדי לוודא שהטמפרטורה נשמרת בצורה קבועה. לאחר מכן, החיממים יכולים לפעול 24/7 עם מינימום תחזוקה. הנורות יכולות לפעול למשך 5,000 שעות לפחות עם תפוקה יציבה.